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ソレノイドアクチュエーター駆動のダイヤフラム式流量制御バルブ「KSFV―100」として商品化し、2024年1月にも市場投入する。

【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は、半導体洗浄装置を主ターゲットに業界初のシールレス構造で、パーティクル(微小異物)残留も...

受圧部はステンレス製で、従来のベローズ式からダイヤフラム式に変更した。

送液機構はダイヤフラム式で1回の吐出量は250ナノリットル(ナノは10億分の1)と少なく、200ヘルツで駆動するため脈動がほぼない。

【名古屋】高砂電気工業(名古屋市緑区、浅井直也社長、052・891・2301)は、圧電素子(ピエゾ素子)式のマイクロポンプ(写真)を15日からサンプル出...

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