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記事検索結果
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実験では、約5ミリメートル角のシリコン基板上にレジスト(PMMA)を塗布し、電子ビーム描画装置で露光。... その後、レジストを除去すると、溝内部のニッケルと金の金属リボン構造がシリコ...
従来と同じアルゴン・フッ素(ArF)液浸露光技術とレジストを用いながら、大きさのバラつきを増やさず、保護膜形成プロセスに酸化プラズマ処理を利用した。
1・4マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の配線間隔(L/S)、厚さ1マイクロメートルのレジストを解像できるレンズを搭載した。
おもにレジストやフィルム材料などの高粘度液からゲル状物質を除去したり、研磨材やインク、電極など微粒子スラリー液の凝集物を濾過したりする用途などを想定する。
このような逆風下、JSRは配向膜や着色レジストといった液晶ディスプレー用部材の販売を2013年4―12月に前年同期比15―30%伸ばした。
液晶パネル内のガラス基板に塗布する層間絶縁膜について、従来のネガ型から露光部が溶解するポジ型レジストに一新。... これらは傘下の富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(東京都渋谷区)...
【ナノインプリントとは】 電子回路が彫り込まれた型をレジストが塗布されたシリコンウエハーに押しあてて転写する技術。
ノウハウの蓄積でかなり短縮はされたが「レジスト塗布、ホログラフィック露光、イオンビームエッチングなどの条件出しで約3週間、その後の加工に1週間かかる」(小枝ユニット長)。
半導体用レジストのシェア拡大に向けて受注に力を入れてきた20ナノメートル台前半の先端半導体の生産も立ち上がってきた」 ―液晶テレビやパソコンなどデジタル産業がコモディティー(...
新材料はレジストを芯材(コア)にすることで工程を一部省略化。... これまではレジストの下層に塗布したハードマスク層をコアとしていた。新たなレジストは自身がコアとなりハードマスク層を不...
エンジンの精密機械加工部品の表面粗さ・形状測定や半導体の電極形状の測定、レジスト膜の厚み測定、加速度センサーなどMEMSデバイスの測定などが可能。
【記者の目/高性能品開発、最重要課題に】 主力製品のLIB材料やドライフィルムレジスト担当役員として効率経営を進めた高山社長。
