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記事検索結果
344件中、11ページ目 201〜220件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.003秒)
従業員数は約70人で、「レジスト塗布装置」「露光装置」「その他販売」の3事業に分割する。... 一方、サーマトロニクス貿易はレジスト塗布装置の開発・販売のほか、台湾アンポック製の現像・エッチング装置、...
【横浜】野村マイクロ・サイエンスは、環境負荷を低減したレジスト剥離剤を開発した。... レジスト剥離剤は、液晶ディスプレーを製造する際に基板上の配線を保護しているレジストを取り除くために用いる。
露光プロセスと感光性樹脂(レジスト)をそれぞれ改良した。... 従来のEUV露光プロセスは1回のEUV露光でレジスト中に酸が発生し、反応が進む。... まず、最初のEUV露光で酸と同時...
そこに成膜やレジスト、コーティングといったプロセス技術のノウハウが詰まっている。... そんな未来の4番候補の一つがフォトマスクを3次元化した厚膜レジスト技術だ。
レジストの表面張力を下げるためのフッ素系化合物で、分子の長さの均一性を高めた。レジストをシリコンウエハーに塗工する際のムラなどが抑えられ、半導体メーカーの歩留まり向上につながる。... パソコンやスマ...
開発した複合成分「ファイトレジストコンプレックス」は、トレハロースのほかユズ種子エキス、トリメチルグリシン、オドリコソウエキスの4成分で構成。
単波長の半導体レーザーを使う直接描画装置よりも幅広いレジストに対応できるため、フォトマスクによる露光方式でのレジストや、基板の絶縁保護膜となるソルダーレジストなどのパターン形成にも使用できる。
当面は主流であるフッ化アルゴン(ArF)レジストで、世界シェア4割以上を目指す」 ―アナログ技術に付加価値を見いだす戦略を進めていますね。
「物質、材料、生産」分野では、半導体回路形成プロセスに欠かせない「化学増幅レジスト」を開発した、米テキサス大学オースチン校のグラント・ウイルソン教授と、サウジアラビアのアブドラ国王科学技術大学のジャン...
前2者は半導体製造に不可欠な化学増幅レジスト材料の開発、グラッスル氏は深海生物の多様性の研究が受賞理由となる。 ウイルソン氏とフレシィエ氏は1980年代初頭、光への感度が高く微細加工...
非露光部分が残るポジ型レジストは、露光後の現像工程で水系現像液を使う。... 一方、レジストメーカー各社は、微細化に伴い製造工程でレジストが倒れるといった課題の解決につながる材料開発でしのぎを削ってい...
業界で最後発組ながら先端のフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー対応レジストでは、JSRや東京応化工業などと世界シェアのトップ争いを演じている。 ... 投資額は1...
乾燥やガラス基板上に塗布されたレジスト膜の中に残る溶媒を蒸発させるプリベーク工程では、超音波でガラス基板を浮上させる「プロキシ加熱乾燥方式」を採用、非接触で済むようにした。
半導体配線の微細化に伴い、当社のネガ現像型レジストの強みが生きてくるはずだ」 ―医薬品事業は13年度に事業全体の営業黒字化を目指しています。
このため、画像制御基板を被覆するレジストには、従来以上の電気絶縁性と柔軟性をもたせることが求められている。 ... このエポキシ化合物と新型硬化剤とを組み合わせ、電気絶縁性と柔軟性を...
微細な配線の形成に使うフッ化アルゴン(ArF)液浸レジスト用ステッパー(露光装置)は、1台の価格が約50億円する。... フォトレジストの世界最大手であるJSRは、信越...
この新ラインの中核を担うのは、メッキの部分的保護(マスク)をするための「レジスト装置」と、メッキ加工した上でマスクを剥がす「メッキ・レジスト剥離装置」の2機。 従来の...
