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記事検索結果
344件中、14ページ目 261〜280件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.003秒)
新黒色レジストは、微細な線の形成に用いられる緑色レジストと同等の線幅に対応できる。... 黒色レジスト全体の製品売上高は数億円規模と見られるが、新レジストの投入で2014年に10億円に引き上げる方針。...
レジストの硬化後にマスターテンプレートを外し、エッチングを施す。最後にレジストを除去し、マスターテンプレートのパターンを転写したレプリカテンプレートが作成できる。
露光後の残存レジスト除去と付着ゴミ除去作業に一台で対応する。... 同装置はフォトマスクのレジスト除去からリンス、ゴミ除去、乾燥までを自動化した。「1マイクロメートル(マイクロは100万分の1...
記録材料として用いれば従来の100倍以上の省エネルギー化が期待できるほか、高感度の光センサーや電子回路に使われるレジスト材料などへの応用も見込める。
ウエハーごとのレジストマスクが要らず、現在主流の電気メッキやスパッタリングよりも工程を簡素化して生産コストを半減以下に抑える。
レジスト剥離の溶液使用量を大幅に減らせる装置として開発した。... 同社の装置は過硫酸を生成し、混合溶液の代わりにレジスト剥離に使う。酸化力が強い過硫酸はレジストをはがす能力が高い。
【京都】大日本スクリーン製造は、第10世代(10G)以降のフラットパネルディスプレー(FPD)の製造を見据えた塗布現像装置(コーター・デベロッパー)向け...
半導体ウエハーの酸化膜やレジスト膜の厚み分布などの全面測定からエッチングパターン部などのピンポイントの細部測定まで自在に対応する。
【材料分野】武知敏富士通セミコンダクター知的財産本部標準推進部プロジェクト課長、野崎耕司富士通研究所基盤技術研究所主管研究員「ArFエキシマレーザリソグラフィ用新規レジスト材料の開発と実用化」 ...
【さいたま】朝日ラバーはシリコーン製白色レジスト材「アサカラーレジストインク=写真」を開発し、1日から提供を始めた。... 同社によるとシリコーン製のレジスト材は業界初という。... これまで...
中国では複数の電池メーカーからリチウムイオン二次電池製造装置を受注したほか、液晶ディスプレーメーカーからもレジストなどを塗布する「TSコータ」の受注を見込む。
【立川】ナノシステムソリューションズ(東京都多摩市、芳賀一実社長、042・339・8440)は従来機比5倍の速度でレジストの微細3次元加工ができる高速マスクレス露光装置「D―light...
また1回の露光に必要なレジストの量を低減する技術開発も進んでおり、レジスト使用量の大幅増加は望めなそうだ。レジスト需要のピークは2012年になると言われる。... レジストメーカーは、他社に先駆け最適...
2回目のレジスト塗布の際に、1回目に形成したレジストの溶解などが起こるが、これを保護するフリージング材を提供。... 東京応化工業もフリージング材が不要のダブルパターニング向けのレジスト材料を開発。....
