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記事検索結果
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この二酸化シリコン膜は電気特性に優れており、TFTの電子の流れを制御する「ゲート酸化膜」の膜厚を10ナノメートル(ナノは10億分の1)まで薄くすることに成功した。
2ミリメートル四方のウエハー上の10ナノ―20ナノメートル(ナノは10億分の1)程度の結晶欠陥を約15秒間で検出できる。... 従来は2ミリメートル角のウエハーを検査する場合、装置によ...
EUVは波長13・5ナノメートル(ナノは10億分の1)で、フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源にするのが現在主流の露光装置の10分の1以下。回路線幅10ナノメ...
(6面参照) 半導体の微細化、高集積化が進み、線幅10ナノメートル(ナノは10億分の1)台の実用化が近づいている。... JSRはEUV露光でフォーカ...
さて現在、ナノテクノロジーの進歩により、ナノメートルサイズにまで微細に加工した超電導ナノ構造を作製できる。例えば、厚みが10ナノメートル以下(ナノは10億分の1)で、線幅が数百ナノメー...
京都大学の北川宏教授や九州大学などの研究チームは、水素を吸収し貯蔵できるナノサイズの合金を開発した。... ロジウムと銀が原子レベルで結合した構造を持つ大きさ10ナノメートル(ナノは10億分の...
北海道大学と日立製作所、高エネルギー加速器研究機構の共同グループは、シリコン表面にレーザーを照射してナノメートル寸法(ナノは10億分の1)のドットを自己組織的に配列する手法を開発した。...
「世界最高性能の次世代装置」(牧内社長)といい、価格は一台10億円。... 2社とも10月までに検収を済ませ引き渡しを終えた。 同装置「EBW―7000C」は、シリコ...
この酸化物半導体の結晶を10ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の大きさのサイコロ状にして、ルービックキューブのように寄せ集めることで量子効果が利用でき、熱電性能を高められると見てい...
物質・材料研究機構量子ドットセンターの黒田隆主幹研究員らは北海道大学と共同で、直径10ナノメートル(ナノは10億分の1)の微粒子である半導体量子ドットに複数の電子を閉じ込めることで、ナ...
直径10ミリメートルのアルミニウム合金を材料に、刃物には単結晶ダイヤモンド工具を使い、23度Cの恒温室で約15分かけて製作した。面粗度は10ナノメートル(ナノは10億分の1)前後。旋盤...
物質・材料研究機構は26日、分子レベルの厚さを持つ酸化物のナノシート(ナノは10億分の1)を積み木細工のように組み立て、世界最小の強誘電体を開発したと発表した。強誘電体のナノ材料設計に...
金型表面に厚さ10ナノ(ナノは10億分の1)―20ナノメートルの薄膜を形成し、金型寸法に影響を与えず、離型性を向上させる。
東北大学の寒川誠二教授らの研究グループは、化合物半導体であるガリウムヒ素の基板上に同材料から成る厚さ数ナノメートル(ナノは10億分の1)、直径10ナノメートルの円盤状の構造物を等間隔に...
直径約10ナノメートル(ナノは10億分の1)と細く、これまで電子顕微鏡を使って原子レベルで構造を解析できなかった。 ... さらに電子エネルギー分光装置や試料をくるむ氷の薄膜を...
独自開発したナノ寸法(ナノは10億分の1)の引張試験装置を電子顕微鏡に組み込み実現した。引っ張り強度は鉄鋼の15倍以上の約30ギガパスカル(ギガは10億)。... BN...
原料となるナノ寸法(ナノは10億分の1)の粒子を液体中に分散させ、10ナノ秒以下の幅のパルスレーザー光を照射して粒子だけを1000度C以上の高温に加熱し、溶融させる。
EUV露光装置は回路線幅16ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の半導体製造での利用を見込む。... EUVは光の波長が13・5ナノメートルで現在主流のArFの10分の1以下。......
