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芝浦工業大学工学部応用化学科の大石知司教授は、光照射とアンモニア水溶液を用いたフッ素樹脂上への簡便な銅微細配線形成技術を開発した。... 同技術では、アンモニア水溶液の蒸気中にフッ素樹脂基板を設置し、...
停止後、アンモニアは外部購入に切り替えるため液体アンモニアとアンモニア水溶液の外部販売は継続する。... アンモニアは肥料や合成繊維原料に使う。... 77年稼働の設備も老朽化で多額の修繕費がかかるた...