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PHT、ウエハー洗浄装置参入月内にデモ機（2024/9/25 機械・ロボット・航空機２）

半導体前工程の30―40%を占める洗浄工程の市場でシェア拡大を狙う。... 半導体搬送システムや同自動剥離装置などを生産する。23年12月に半導体の搬送システムや洗浄装置が強みのフェニックスエ...

PHT、米で半導体製造装置を本格生産部品現地調達も（2024/1/23 電機・電子部品・情報・通信２）

PHT(フィット、東京都北区、黄清敏社長)は、米子会社のアドバンスド・スペシャル・ツールズ(AST、ミシガン州)で半導体製造に用いるウエハー搬送装置...

村田機械、三重・伊勢に新棟建設半導体搬送システム増産（2023/12/12 総合１）

【京都】村田機械は半導体工場向け搬送システム(クリーンFA)の生産を増強する。... 伊勢事業所の新棟はOHTやコンベヤー、ストッカーといった半導体工場向けの自動搬...

IHI、450mmウエハー搬送装置を3年後に投入（2009/2/3）

IHIは半導体ウエハー搬送分野を強化する。買収したセントラルコンベヤー(愛知県幸田町、渡会靖彦社長)を通じて、半導体製造の前工程で使う搬送装置を商品化する。... 半導体搬送システムは...