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ニッポンの素材力トップに聞く(10)大陽日酸社長・永田研二氏（2024/2/28 素材・建設・環境・エネルギー２）

「半導体の在庫調整局面の影響で、特殊材料ガスの出荷量が落ち込んだ。... ガス需要も24年度中のどこかで立ち上がることを期待している」 ―半導体製造に不可欠な希ガス(レアガス...

産業ガス/安定供給力を強化（2020/8/5 特集・広告）

鉄鋼業では高炉の燃焼温度上昇や鋼の熱処理に、食品向けでは酸化防止や保冷に、化学分野では石油精製やプラスチック製造の材料ガスになるなど、その用途はさまざまだ。... 半導体工場では、多品種な特殊材料ガス...

大陽日酸が供給するのは、ジボランやフルオロメタンといった特殊材料ガスだ。... 併せて高純度・高精度な特殊材料ガスの需要も拡大している。 ... これを受け、大陽日酸は韓国と中国で特...

大陽日酸、半導体向け材料ガス深耕韓国工場を追加増強（2018/7/20 素材・ヘルスケア・環境）

大陽日酸は2020年度までに半導体向けの材料ガス事業規模を現状比28%増の約600億円に引き上げる。韓国の特殊材料ガス工場を1月に増強したが、想定を上回る需要が続くため追加増強を視野に入れる。...

「第20回オゾン層保護・地球温暖化防止大賞」に4件（2017/9/4 素材・ヘルスケア・環境）

【経済産業大臣賞】「PFC等の新型大気圧プラズマ除害装置」カンケンテクノ電子デバイス製造の化学気相成長装置(CVD装置)は、...

経営ひと言/大陽日酸・田口博会長「地位復権に期す」（2012/10/5）

薄膜太陽電池の市況悪化を受けて特殊材料ガス事業を撤退。

大陽日酸、特殊材料ガスから撤退−特損233億円計上（2012/10/1）

大陽日酸は液晶パネルや太陽電池の市況低迷を受け、特殊材料ガスのモノシランガス事業から撤退する。

昭和電工とエア・ウォーター、エレ向け特殊材ガスで新会社（2010/11/26）

昭和電工とエア・ウォーターは25日、太陽電池、半導体、エレクトロニクス分野向け特殊材料ガス製造の共同出資会社「昭和電工エア・ウォーター」(東京都港区)を12月に設立すると発表した。.....

10年超モノづくり部品大賞(機械分野)/部品賞−フジキン（2010/11/11）

「高温250℃対応圧力制御式ガス流量制御器」は半導体製造プロセスで重要となる特殊材料ガスの流量を精密制御する。ガス温度で最大50度C、同150度C対応のガス流量制御器を製品化していたが、半導体素子の微...

09年超モノづくり部品大賞(機械分野)/部品賞−フジキン（2009/11/4）

半導体製造装置向けに特殊材料ガスの供給制御に使うバルブは当時、200万―400万回程度の開閉が限界。... 「バルブの寿命はガス流路を直接閉止する役割を持つ金属ダイヤフラム(仕切り板)...

モノづくり推進会議/09年超モノづくり部品大賞(2) （2009/10/20）

基材間を配線する通電材には銅や銀などの金属粉をエポキシ樹脂と混合したペースト材料を採用。... 高耐久バルブは半導体装置内で、特殊材料ガスの供給制御に使う。原子レベルで成膜する半導体製造プロセスは特殊...

フジキン、高耐久性の次世代型半導体製造装置用バルブを拡販（2009/6/11）

今回のダイヤフラムバルブは半導体製造装置に数十台組み込み、特殊材料ガスの供給制御に使用する。微細化が進み原子層レベルで成膜する半導体の製造プロセスでは、特殊ガスを短い時間で何度も繰り返し流すため、バル...

理研計器は18日、警報や濃度表示、ポンプ吸引機能などを大幅に改良し、小型の定置式特殊材料ガス検知器「GD―70D=写真」を09年2月に発売すると発表した。... 液晶などの製造工程で使われる特...