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研磨液に使う水は再利用できる。 液状の研磨材スラリーを使わない点も特徴。従来の研磨工程では研磨液として、ダイヤモンドやセラミックスを混ぜた特殊な研磨剤スラリーを使うため多量の廃棄物が...

挑戦する企業/AGC(7)エレ、戦略事業の大黒柱に (2022/12/16 素材・医療・ヘルスケア)

半導体向け部材では、高性能な研磨材(スラリー)も主力製品であり、市場も同様に伸びている。EUVマスクブランクスもスラリーも原料から一貫生産できるのが素材メーカーの強みだ。 &#...

これを強磁性粉と研磨材スラリーを使用して研磨した事例が、図の(b)だ。研磨プロファイルからも分かるように、凹部まで鏡面になっているのが確認でき、凸部では背面の模様がきれいに映っている。...

また、研磨幅が切削工具径よりも大きく、研磨面と研磨面が重複する箇所が出てきて磨きむらを発生させ、うねりとなる不具合も起こる。... ボールエンドミルを用いて同時5軸制御加工で製作した曲面を強磁性粉と研...

研磨材スラリーと磁石を用いた磁気研磨法で、鏡面研磨、バリ取りあるいは仕上げへ適用できる。... 固体磁性砥粒(とりゅう)を磁極鉄芯(しん)に吸引させて研磨する方法と鉄芯...

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