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活況!半導体露光装置(下)ニコン中古i線装置、販売好調（2022/3/17 電機・電子部品・情報・通信）

「中古装置の販売が堅調。特にi線装置は、当社が10年以上前に販売していた装置の売れ行きが順調だ。... 「線幅の微細化という横方向の開発は今後も進んでいくが、(3次元化など)縦方向への...

キヤノン、小型基板向け半導体露光装置生産性17%向上（2020/11/12 電機・電子部品・情報・通信２）

キヤノンは、直径8インチ以下の小型基板向け半導体露光装置「FPA―3030i5a=写真」を2021年3月上旬に発売する。... 同露光装置は、水銀ランプ波長が365ナノメートル(ナノは...

インタビュー/キヤノン・武石洋明執行役員「ナノインプリント顧客の信頼積み重ねる」（2016/4/7 電機・電子部品・情報・通信２）

「i線装置では高い業界シェア(70%程度)を有している。... 必ずしも先端のArF液浸装置を必要としないケースが増え、i線装置、KrF装置の需要が伸びている。... 「i線と...

同社のi線とKrF装置の合計販売台数は16年に、3年前に比べて倍増の86台まで増える見通し。... またi線装置のシェアも現行の約70%を維持する考え。 ... 比較的古い技...

キヤノン、半導体露光装置事業に転機−ナノインプリントで逆襲（2016/3/18 電機・電子部品・情報・通信１）

キヤノンの半導体露光装置事業が転機を迎える。... ナノインプリント装置を武器に巻き返しを図る。... 古い技術であるi線装置ではシェア6割弱を握るが、市場規模の大きい先端分野に参入できていないことが...