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可動部がある微小電気機械システム(MEMS)製に比べると動作が安定で信頼性が高い利点がある。

工業振興の新規事業では、超精密加工技術と微小電気機械システム(MEMS)技術の融合を図る研究開発事業に1500万円を計上した。

東芝は低電圧でナノメートルレベルの微小焦点を維持するX線管を開発した。軟X線を放出し、軟らかい素材や微小な半導体素子を非破壊で検査できる。... 電圧が5―15キロボルトでは有機系の薬品や軟素材、10...

ナノフォトニクス、微小電気機械システム(MEMS)ナノバイオなどで優れた研究の発展や融合を目指す。

ロボットの視覚センサーなどに使う微小電気機械システム(MEMS)力センサーと蛍光顕微鏡を組み合わせた手法を開発。... 細胞外で形成させた数十マイクロメートル(マイクロは100...

プラズマによるガスのイオン化が不要で放電による基板損傷が少なく、微小電気機械システム(MEMS)向けや微細加工が要求される分野での利用に適しているという。

08年末の幹事引受数は、電気工学などに関連する国際電気標準会議(IEC)と電気分野以外の国際規格を定める国際標準化機構(ISO)の両機関で増加した。IECでは、微小電気...

特にシステムLSIで強い製品を持たない日本勢は、微細化の巨額投資は回収できない。一部には「微小電気機械システム(MEMS)」に活路を見いだす動きも出始めている。 「自動販売機を...

東北大学大学院工学研究科バイオロボティクス専攻の小柳光正教授は、半導体ウエハー上に集積回路(IC)やセンサー、微小電気機械システム(MEMS)、バイオチップなどの異種デ...

ニコンは13日、子会社のニコンエンジニアリング(横浜市神奈川区、永田浩社長、045・320・1311)が微小電気機械システム(MEMS)用の縮小投影露光装置「ミニステッ...

インテグラル・オプティクスは光学系部品を微小電気機械システム(MEMS)技術などで超小型機器に組み込む技術で、同社が強化に乗り出している。

微小電気機械システム(MEMS)と信号処理ICを組み合わせた超小型センサーを実装、用途に応じた機能が搭載できる。... シリコン貫通配線技術を確立、感知部となるMEMSと信号処理ICを...

また新棟では極薄半導体ウエハーや微小電気機械システム(MEMS)デバイスの応用開発も行う。

メディア研究所(東京都港区、百束雄一社長、03・5470・9801)は、微小電気機械システム(MEMS)用部品などの製造工程で、超音波を使ってレジスト膜やメタル膜を除去...

半導体製造装置メーカー大手が、相次ぎ発光ダイオード(LED)や微小電気機械システム(MEMS)向け装置を拡充する。... 汎用装置だが、LEDやMEMS生産現場に拡販す...

【同時に市場開拓】 例えば電子部品事業の微小電気機械システム(MEMS)。... 同社の強みは制御機器や車載電装品、健康機器など5事業すべてでMEMSを内製化できること。

今後、薄膜リチウム2次電池はRFIDのほか、微小電気機械システム(MEMS)などの小型電子機器、生体医療機器などへの適用が期待でき、需要急増が見込まれる。

医療・バイオや環境・エネルギー、ロボット、微小電気機械システム(MEMS)などの分野で、よりシステム化した製品を開発する。 ... 機械技術に基盤を置く総合メカトロメーカーを目...

半導体ウエハーに加えて、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)イメージセンサーや発光ダイオード(LED)、微小電気機械システム(MEMS)などの検査向けに需...

【名古屋】中村鉄工(愛知県春日井市、中村哲浩社長、0568・84・0368)は、精度0・5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)以下の精密機械加工分野に参入する。...

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