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記事検索結果
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【立川】ナノシステムソリューションズ(東京都多摩市、芳賀一実社長、042・339・8440)は、高価なグレースケールマスクなしに膜厚レジストの3次元加工ができる研究用露光装置「D―li...
微小電気機械システム(MEMS)や機能性材料、ITなどの分野で同大学のライセンス可能な未公開特許など7件を説明、共同研究のパートナーを募る。
1ミリメートル角のチップでは機械式に比べ生産性が30倍という。... 微小電気機械システム(MEMS)用の集積回路(IC)や無線識別(RFID)などは、...
【京都】大日本スクリーン製造は2日、微小電気機械システム(MEMS)技術を利用してデバイス開発を行う米シリコンライトマシーンズ(SLM、カリフォルニア州)を買収したと発...
東芝は、携帯電話などに搭載が見込まれる微小電気機械システム(MEMS)を実装するパッケージング技術を開発した。MEMSの可動部を保護する中空構造を作製する技術で、ウエハーを加工する前工...
電解研磨は従来の化学機械研磨(CMP)より高速で削れるが、金属の電極などがウエハーに接触するため、損傷を与えてしまう欠点があった。... 微小電気機械システム(MEMS)...
3タイプのうち「LCパッケージ」は、水晶素材を微小電気機械システム(MEMS)技術で加工した音さ型振動子を内蔵し、幅3・6ミリ×奥行き2・8ミリ×高さ1・2ミリメー...
鷹羽産業(大阪市住吉区、阪本行社長、06・6693・2703)は、兵庫県立大学、ナノクリエート(兵庫県姫路市)と共同で、新たな微小電気機械システム(MEMS&#...
4大学と地方自治体、地域産業界が連携して、ナノフォトニクス、微小電気機械システム(MEMS)、マイクロ・ナノ化学、ナノバイオに共通するナノ・マイクロファブリケーション(製品化&...
また一部の参加企業はタマティーエルオー(東京都八王子市)の推進する微小電気機械システム(MEMS)関連のプロジェクトに参加している。... タマティーエルオーのMEMS...
東京・多摩地域の企業の技術者や起業を目指す人を対象に、微小電気機械システム(MEMS)や精密ナノ加工など、最新の技術を学ぶ場とする。 ... また本目精吾エリオニクス社長、上野...
オムロンは、燃料電池システム向けの流量センサー「形D6F・MEMSフローセンサ=写真」を4月1日に発売する。1・55ミリメートル角、厚さ0・4ミリメートルの微小電気機械システム(MEM...
微小電気機械システム(MEMS)技術の活用で開発したマイクロチップセンサー採用などで、大幅な小型化を実現。「液晶や医療システムなど新規顧客の引き合いが増えている」(小島社長&#...
【仙台】アドバンテストは研究開発会社のアドバンテスト研究所(仙台市青葉区)敷地内に、微小電気機械システム(MEMS)スイッチなどを生産する新工場を完成した。... 新工...
東芝は7日、無線システムを高機能、小型化できる携帯電話向けの微小電気機械システム(MEMS)で、静電力で駆動する静電型のアクチュエーターの信頼性を向上する回路技術を開発したと発表した。...
永平寺サイジングは新規の繊維素材によるリサイクル可能なクッション材、コフロックは微小電気機械システム(MEMS)技術応用による半導体マイクロセンサーを使用した超微細超高速応答質量流量計...
山武は気体の微小な流量を制御する「デジタルマスフローコントローラCMQ―Vシリーズ=写真」を発売した。真空蒸着装置などに使われる窒素やアルゴンなどを対象に、毎分0―5ミリリットルといった微小流...
