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シリコンウエハー上に反射防止膜を成膜するリモートプラズマ化学気相成長(CVD)装置「DEP―X(デペックス、写真)」で、毎時2400枚という高速でウエハーを処理する。....

実験でAさんはいつも大きなルーペを持って、実験装置の周りや装置の中、できた膜を真剣に見ていた。... これらの情報から、成膜中のプラズマの状態や膜への影響を知り、膜成長の様子をイマジネーションできる。...

表面の反射防止膜を改良し、明るい場所でも引き締まった映像が見えるようにした。

【厚木】昭和真空は光学部品向け反射防止膜(AR)成膜用スパッタリング装置「SPS―208CW」を完成、10日に発売する。... 射出成形機と連結し、成形後直ちに成膜するため「水分に邪魔...

開発した電子銃「NEG―F06AF型」は、レンズなどに光学反射防止膜などを形成するために用いる。

開発したCIGS太陽電池はチタン薄膜の基板上に約1マイクロメートルのモリブデン電極を付け約2マイクロメートルのCIGS薄膜、バッファー層、透明導電膜、反射防止膜を積層した構造。

【新潟】クリーン・テクノロジー(新潟県長岡市、西澤和夫社長、0258・24・5350)は、液晶や太陽電池の反射防止用超精密薄膜フィルムの製造装置の生産に乗り出す。... 液晶ディスプレ...

装置には「交互吸着法」と呼ぶ成膜方法を採用。... 真空装置では困難な基板両面や曲面への加工ができ、数十ナノ―数百ナノメートル(ナノは10億分の1)までの厚さで、1ナノメートルの膜圧を...

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