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同装置「NSパイロットライン1000」は試作用と大量生産の間の製造能力。

98年にパイロットラインで量産、第1世代の本格量産にはさらに7年を要した。... 09年度稼働予定の堺工場では同サイズの基板に対応した新ラインを導入。

同45ナノもパイロットラインが稼働し、量産準備に入った。... 03年度から5年間で約2000億円を投じ、先端システムLSI向けの高効率生産ラインの整備を進めてきた。

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