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山部昌金沢工業大工学部機械工学科教授と増田渉長岡技術科学大機械系教授が講演し、それぞれの大学で行っている人材育成プログラムやインターンシップの実施状況を説明した。 金沢工大の山部教授は、企業と...

【金沢】金沢工業大学の堀邊英夫教授と明電舎の共同研究グループは、半導体基板のエッチングやイオン注入時に基板の保護膜として使われるレジストを、高濃度のオゾンガスを使って高速で除去する技術を開発した。

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