記事検索結果

蘭ASML、次世代半導体露光「高屈折率液浸」の開発断念（2008/10/20）

露光装置メーカーは40ナノメートル台の先端半導体製造では、露光装置の投影レンズとウエハー間に純水を満たしてNAを高める「液浸」技術を採用。... だが、レンズ材料の選定が進まずニコンとキヤノンが断念。

半導体露光3社、レンズ材料定まらず「高屈折率液浸」断念（2008/5/22）

回路をウエハーに焼き付ける露光装置のレンズ材料が定まっておらず、2010年の実用化に間に合わないと判断した。... 溶媒自体は開発が完了したが、レンズ材料は「ルテチウム・アルミニウム・ガーネット...

三井化学、米SDCを100億円で買収−コート剤開発を強化（2008/5/13）

SDCはメガネ、自動車用のプラスチックや非鉄金属などのコーティング材料、システムを製造・販売しており、三井化学は今後、同社の技術を活用して先端化学品事業を強化する。現在、手がけているメガネレ...

キヤノンはレンズを研磨する工程で、多くの削りカスが発生していた。同会計手法によって、肉厚の薄いレンズ材料を仕入れることで80%の無駄を削減した。

この次世代半導体は材料やトランジスタ構造などの基盤技術のほか、製造技術も新たに開発する必要がある。 ... 投影レンズとウエハー間に純水の代替として高屈折率液体を用いると、NAは最大1・7まで...