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東洋機械金属のコールドチャンバーダイカストマシンに、TRSのスプレーロボットシステムと製品取り出しロボットシステムを搭載し、実演する。

衝撃吸収力にムラが出るチャンバー間の段差もなくせるほか、ガス吹き込み口付近に入れる補強用バッグも不要になり、原価低減にもつなげられるという。

アモルファスシリコンと微結晶シリコンを同じチャンバーで成膜するため、酸化膜ができる恐れがない。

昨年12月にアルミニウム用ホットチャンバーダイカストマシンを製造するサンキ(静岡市駿河区)に出資し子会社化した。

半導体や液晶パネル製造装置用チャンバー向けの真空溶接部門も増強する。

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