日立国際電気は25日、半導体製造に使う成膜装置の開発・製造を担う富山工場(富山市)の敷地内に新棟を建設すると発表した。

河合氏は東京エレクトロンが世界シェアトップの熱処理成膜装置部門長や、次の成長柱と位置付ける洗浄装置部門長などを歴任した。

【静岡】エイディーディー(静岡県沼津市、下田一喜社長、055・943・6371)は、新規事業として、2016年にダイヤモンド厚膜合成(コーティング)など成膜受託事業を本...

【山口】山口大学大学院理工学研究科の諸橋信一教授は独自開発のスパッタ(成膜)装置を使って、基板を加熱することなく低抵抗率・高透過率の「インジウム・スズ酸化膜(ITO)透...

隔膜真空計は半導体製造で使う成膜装置向けで、測定範囲が限られるが精度が高い。... アルバックは真空装置向け電源をブース正面に展示した。... 真空チャンバーの内部は通常見られないため、フィルムの成膜...

消耗品である測定子の交換頻度を少なくできるため、真空装置の稼働率向上につながる。... また、ドライ真空ポンプの消費電力を削減できる補助装置「エコ―ショックES4A」を8月に発売した。既存製品「ES1...

【光学薄膜向け蒸着装置紹介−オプトラン】 オプトラン(埼玉県川越市、049・239・3381)は「オプトナノテクノロジーによる光学薄膜成膜のプロセスソリューション提供...

自社開発のイオン源によるイオンアシスト蒸着装置「EPDシリーズ」や、同社独自のスパッタプロセスによるロードロック式スパッタ装置「RASシリーズ」などを披露する。 ... 今回は「開発...

半導体エッチング、成膜装置を製造する子会社のSPPテクノロジーズ(東京都千代田区)が米国に新会社を設立し、同事業を譲り受ける。

神戸製鋼所は自動車部品や工具などの表面に特殊な炭素膜をコーティングできる装置を4月下旬に発売する。ダイヤモンドの結晶構造に近い「テトラヘデラル・アモルファス・カーボン(ta―C)膜&#...

神戸製鋼所は自動車部品や工具などの表面に特殊な炭素膜をコーティングできる装置を4月下旬に発売する。ダイヤモンドの結晶構造に近い「テトラヘデラル・アモルファス・カーボン(ta―C)膜&#...

【千葉】ロック技研工業(千葉県八街市、岩永淳一社長、043・440・1781)は、電気抵抗が数十オーム級の透明導電膜をロール・ツー・ロール方式で樹脂フィルムに真空成膜する装置を完成した...

スパッタロールコータは、プラスチックフィルムにスパッタリング法で酸化インジウムスズ(ITO)などの透明導電膜や光学膜などを形成する装置。... 成膜ゾーンを開放できる独自の設計思想を取...

成膜速度が1分当たり膜厚200ナノ―400ナノメートル(ナノは10億分の1)と、代表的な成膜技術であるスパッタリングの約20倍。... 大手真空装置メーカーが成膜装置を販売し、2022...

キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計(写真)を発売した。同社にとって初の半導体成膜装置向...

一方、最適なコーティング皮膜を提供できるDLC成膜装置も扱う。真空装置内に成膜ガスを供給した後、パルス電源でプラズマを発生させて引き込み、成膜する仕組みだ。... ▽所在地=京都府宇治田原町湯...

0・0001トールまでの高真空領域の測定に対応し、半導体成膜装置向けに提案する。... 芝浦メカトロニクスは、後酸化方式を採用し、低温で樹脂にも成膜できる光学部品用スパッタリング装置をデジタル機器分野...

光学薄膜向けスパッタリング装置「CCSシリーズ=写真」は後酸化方式を採用し、高品質な反射防止膜・増反射膜を低温で成膜することができるのことが特徴。... 【オプトラン/光学薄膜向け蒸...

ロールツーロールで太陽電池や有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)を生産できる真空成膜装置(写真)で成膜したフィルムや、真空バルブ、研磨サンプルなどの実物を出展。......

キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計事業に参入する。... 隔膜真空計市場のうち成膜装置向けは全体の約半...