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ただ既存技術を使った微細化は限界に近く、早晩、3Dのほか、EUV(極紫外線)露光やArF液浸の多重露光といった新技術が必要になる。

「重要特許の多くをMIIが抑えているので心配していない」 ―EUV(極紫外線)露光装置の可能性についてはどう見ていますか。

信越化学工業は紫外線(UV)照射で硬化するゴム材料を開発した。

その過程をもう一つの紫外線パルスで測定したところ、第2のパルスを照射するタイミングを変えることで液体から放出される電子の時間的な変化を捉えられたという。

MUTOHホールディングスは業務用の紫外線(UV)インクジェットプリンターの販売を始める。

日産化学工業は高硬度で耐擦傷性に優れた光学フィルム用紫外線(UV)硬化型ハードコーティング液「SC―228R」を開発した。

―EUV(極紫外線)露光装置の量産技術の実現性をどう見ていますか。

DICはタッチパネルの薄型化につながる紫外線2段硬化型の透明粘着剤のサンプル出荷を始めた。

◆ ―EUV(極紫外線)露光装置の開発状況は。

抗菌ナイロンを用いたものや、接触冷感と紫外線(UV)カット性を持たせたものなど、多彩なラインアップを用意。

基材フィルム上に塗布した紫外線(UV)硬化性樹脂を硬化して、複雑で精密な微細パターンを形成した。

長く次世代技術の本命とされてきたEUV(極紫外線)露光。

AfFに次ぐ光源として、波長がAfFより10分の1の13・5ナノメートルと短いEUV(極紫外線)が期待されてきた。

また「企業事例」として、放射線医療向けや研究施設向け加速管セルの高精度加工に取り組む森川製作所や、熊本大学との共同開発で医療装置分野への参入や金型の高精度化に寄与する紫外線援用研磨法の確立を目指すナカ...

ところが、貼り合わせの方法が紫外線照射に変更され、さらにオープンセルという半製品で海上輸送される傾向が強まると、低吸水性が一転して強みになった。

NSPドクター(東京都台東区、高橋義武社長、03・5807・0820)は、同社がコンサルティングを行うパチンコ店に、紫外線(UV)殺菌装置「TOMO―UVGI」を納入す...

パナソニックは除菌作用がある波長の短い深紫外線を発生する深紫外線LEDモジュール市場に参入する。... 深紫外線は300ナノメートル以下の短い波長。... 深紫外線域のLEDモジュールの実用化で、この...

アールエスコンポーネンツ(横浜市保土ケ谷区、横田親弘社長、045・335・8570)は7日、米フィリップス・ルミレッズ製の高出力紫外線(UV)発光ダイオード(L...

Sサイズ以下の生物は紫外線殺菌方式で殺滅処理する仕組み。

ファンケル 強い紫外線(UV)から肌を守る「ホワイトアドバンス ドリンクDX」を発売した。

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