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ウエハーの大口径化は生産効率化につながるものの開発費負担が膨らむなどの理由から、装置業界の反対もあり、導入が進まなかったが、状況は変化しつつある。 ... 半導体業界では回路線幅を細...

ウエハーの大口径化や薄膜処理の高精度化に伴う品質管理に役立つ。

【広島】トーヨーエイテック(広島市南区、龍田康登社長、082・252・5230)は25日、サファイアや炭化ケイ素、窒化ガリウムなどの難削材に対応するダイヤモンドワイヤカッティングマシン...

積水化学工業は17日、毎秒最大10ギガビットの超高速伝送が可能なプラスチック製光ファイバー「GINOVER(ジノーバ)=写真」を事業化すると発表した。... 大口径化...

【研究開発】酸化亜鉛 次世代材料で脚光 川崎東北大教授らは04年比で輝度1万倍以上のLED試作に成功(蛍光体で緑色発光したところ) 塗料や医...

大口径化は青色LEDの低コスト化につながる。 ... この技術を生かすことにより、8インチ径に大口径化を進める。 ... コスト低減には単結晶の...

洗浄装置は半導体ウエハーの大口径化や微細化が進むにつれ、一度に複数枚のウエハーを洗浄するバッチ式洗浄装置から、より精度の高い枚葉式洗浄装置にニーズが移っている。... 実験機では高速度カメラで液流動を...

単結晶の大口径化につながる基礎技術で、炭化ケイ素(SiC)より高温動作が可能な窒化ガリウムデバイスの実現に寄与する。... だが、同方式は5000気圧の高圧に耐える容器が必要で、これ以...

JFEスチールは25日、パイプラインなどで使う大口径鋼管の曲げ変形を、実際の鋼管を使って検証できる試験装置(写真)を開発したと発表した。... この装置により鋼管の解析技術を向上、大口...

半導体各社は機器の電力消費抑制につながる炭化ケイ素(SiC)半導体の量産を数年内に本格化する。... 産業機械や自動車の省エネルギー化を追い風に量産化を急ぎ需要を取り込む。 &...

ウエハーサイズの大型化に伴うゆがみ、へこみなどの課題に対応し、6インチサイズへの露光を可能にした。 ... 既存のウエハーサイズから大口径化する場合にも交換作業が不要となる設計にした...

これまで同200ミリメートル(8インチ)ウエハー対応製品などを投入しているが、大口径化に伴い課題となる膜均一性などを、独自のエッチング技術やプラズマ発生技術で克服した。... 液体原料...

【東大阪】タカトリは大口径サファイアウエハーの高精度スライス加工技術の開発を始めた。... 3年後に直径6―8インチのインゴットを高精度にスライス加工するマルチワイヤソーの製品化を目指す。... 生産...

半導体製造用のシリコンウエハーの大口径化に対応する。... 今回、宇部マテリアルズの高純度MgO粉末合成・精製技術と日本タングステンの特殊焼結技術を組み合わせることで、高純度や高密度を維持したまま大口...

マシン自体も高機能化し、子機を内蔵してトンネル径や方向を変えて連続掘進したり、複数の小さなトンネルを掘って大きなトンネルの外殻にしたりする大空間構築法も考案されている。... (編集委員・青柳...

ウエハーを大口径化すれば半導体チップの生産性は上がる。... 【搬送システム】 ミニマル・ファブ構想が大きく進展した背景には、原代表が20年来開発してきた「局所クリーン化技術」の成功がある。....

洗浄や露光工程で使う装置は30センチメートル角に小型化し、価格は1台100万―500万円を見込む。ウエハーの切断工程が省けるので工程数が大幅に減るほか、製造装置内を局所的に無塵化するため大規模なクリー...

量産ではコストダウンにつながるウエハーの大口径化も必要だ。... もともとSiCパワー半導体はシリコンに比べ電力損失を100分の1以下に抑えられるとされ、第3世代まで実用化できれば温暖化対策効果は大き...

従来技術では外径1メートル程度のセラミックスリングが限界だったが、原子力機構は京セラと世界最大口径の同リングを開発した。... 原子力機構は日立原町電子工業と、大口径セラミックスリングと金属を接合して...

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