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レプリカテンプレートを紫外線硬化樹脂などの積層したウエハーに押しつけ回路パターンを転写し、エッチングを施して回路を形成する。

生産を始めた回路線幅50ナノメートル(ナノは10億分の1)や次世代の同45ナノメートルプロセスの開発を加速し、広島工場ではウエハー一枚から取れる半導体チップの生産量を大幅に増やし、製造...

半導体製造設備に同ミキサーを設置すると、製造に使うガスを昇温させ、ウエハーを温めておく余熱に使える確認もした。

半導体ウエハーなどの搬送に使われるクリーンルーム内作業ロボットも同41・5%減と、主要ユーザーである自動車や電機産業で使われるロボットはいわば“総崩れ”の状況だ。

これまでは束ねた複数の水晶ウエハーなどを仮止めし、切断・加工後に各ウエハーをはく離するなど、主に水晶振動子や光学部品の生産前工程向けを販売してきた。

チップ積層やウエハー貼り合わせといった3次元集積回路で用いるほかの技術は、層間配線の集積度が低いのが課題とされている。

当初はウエハー換算で月産数千枚になる見通し。... 技術確認を終え、8月からウエハーの投入を始める。

直径450ミリメートルウエハーにも必ず移行するだろう。

ソーワイヤはウエハー切断ごとに交換が必要な消耗品。このため家庭用太陽電池用ウエハーの生産と正比例で需要が拡大する。

【先行他社と差異化】 次世代の半導体ウエハー材料と目される炭化ケイ素(SiC)。国内では新日本製鉄やブリヂストンなどが、単結晶ウエハーの生産を始めている。

ArF液浸露光装置は投影レンズとウエハーの間に純水を満たし、光の屈折率を高めて明るさを表す開口数(NA)を引き上げ高解像度を確保する。

半導体チップの良否判定は、ウエハー検査工程で同カードを使い通電テストする。... またウエハーの大口径化により、同カードは価格が1000万円を超える製品が出回るようになっている。

開発した試作機は、半導体ウエハー酸化膜の局所的なエッチングができるという装置。

欠陥を特定の部分に集め、その部分を除くことで欠陥の少ない製品を生産する方法もあるが、同社は試行錯誤の結果、「ウエハー中の欠陥を平均して少なくできる」(同)ようにして歩留まりを高めた。&...

古河電工は半導体ウエハー製造工程で、切断時にウエハーを固定するダイシングダイボンディング一体型フィルム(DDF)などを製造する。

従来プロセスを利用し、すべてウエハー上で作り込める。... 高信頼性の非感光性樹脂と、微細接続が可能な感光性樹脂を組み合わせ、密着性やウエハーの反りなどの課題を解決した。

また、下地層の材料やはく離技術を改善し、「ウエハー全体の欠陥を平均的に少なくし、歩留まりを上げた」(碓井彰執行役員)。

今後の需要減が見込まれる200ミリメートル以下の小径ウエハーは、生産能力を現在比30%減らし、国内外の生産拠点も集約する。太陽光発電用ウエハー事業では、現在の多結晶ウエハーに加え、新たに単結晶...

【横浜】ニューフレアテクノロジーは28日、直径200ミリメートルのウエハー上に150マイクロメートル(マイクロは100万分の1)以上の厚みで結晶を成長できるエピタキシャル成長装置「HT...

直径8インチのウエハーを厚さ30マイクロメートル(マイクロは100万分の1)、面の厚さのバラつき(TTV)を2マイクロ―3マイクロメートルの精度で研削する実力を持つ。ウ...

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