【京都】サムコは同社従来品より価格と装置サイズを約3割抑制し、性能を維持した研究開発用途向け高速シリコンエッチング装置「RIE―400iPB=写真」を発売した。... 量産用途と研究用途を狙っ...

熱処理装置大手の日立国際電気は「(多数ウエハーを同時処理する)バッチ式で縦型の装置を想定」(同社関係者)しており、工場や生産ラインで装置を組み付ける方法を検討。... ...

日立ハイテクは医用分析装置の生産について、2009年度上期に対し、下期には5―7%の増産を見込む。ロシュが欧州でシェアを拡大しており「装置供給は高水準が続いている」(日立ハイテク関係者...

【エッチング装置】 ほかにもトップシェアと呼べる商品がある。... このエッチングマシンは安定需要があり、長く同社の経営を支えた。... 同社は数年前から蒸留と脱水膜を組み合わせたバイオエタノ...

今回は小型卓上型の表面改質装置や評価用装置を出展する。中でも新開発の大口径プラズマソフトエッチング装置(写真)は、微細流路の研究に使用するポリジメチルシロキサンを簡単に接合できる。

【京都】サムコは台湾新竹市に半導体製造装置のメンテナンスなどを手掛けるサービス子会社「サムコグローバルサービス台湾」を設立した。... 子会社はサムコ台湾事業所(新竹市)から装置の設置...

【立川】エリオニクス(東京都八王子市、本目精吾社長、042・626・0611)は、ハードディスク(HD)などの微細パターン形成に使うナノインプリント用モールドを、高精度...

(松木喬) 【半導体製造装置】 世界の半導体製造装置需要の約3分の1を占めるのが台湾系DRAMメーカー。... 露光装置(ステッパー)などを手がけるニコ...

日立ハイテクノロジーズは08年中にも、次世代半導体製造用のエッチング装置を出荷する。... 出荷するのはプラズマエッチング装置。... 回路線幅を32ナノメートルまで微細化すると、エッチングする段差や...

ドライエッチング装置や真空蒸着装置、アッシング装置、化学気相成長(CVD)装置などLEDの製造に必要な装置をそろえる。 ... トプコンは駐在員事務所を設置し、チップ外観検査装...

半導体製造装置メーカー大手が、相次ぎ発光ダイオード(LED)や微小電気機械システム(MEMS)向け装置を拡充する。... アルバックはLED量産用のエッチング装置を発売...

アルバックは27日、従来製品に比べて生産性を40%向上した発光ダイオード(LED)量産用ドライエッチング装置「アピオスNE―950EX」を12月から発売すると発表した。

【京都】サムコは発光ダイオード(LED)生産用途向けの窒化ガリウム(GaN)ウエハー専用ドライエッチング装置「RIE―330iP」を25日発売する。... 多数枚同時処...

日立ハイテクノロジーズはウエハー上の薄膜を形状加工するエッチング装置や、半導体の検査・計測工程で用いる測長走査型電子顕微鏡(SEM)などのメーカー。... 設備の改造やソフトウエアのバ...

製造装置メーカーのトップなどに聞く。... 製造装置業界への影響は。 ... 熱処理成膜装置や化学気相成長(CVD)装置、エッチング装置など半導体の回路形成を担う前工程装置を幅...

同センターでは05年9月からナノ加工機やドライエッチング装置などの機器を1時間あたり数千―1万数千円で貸し出ししている。... クリーンルームで、露光装置やスパッタリング装置などを使い、基板上にセンサ...

同部会では6月に東京エレクトロンATの宮城事業所(宮城県松島町)を見学、各社の売り込みに向けて、半導体製造用のエッチング装置製造や装置部材について説明を受けており、今回は東京エレクトロ...

【立川】エスクラフト(東京都羽村市、松島順一社長、042・555・8009)は、低価格のエッチング装置の製造・販売に乗り出す。... エッチングとアッシング加工が可能なプラズマ処理装置...

また、太陽電池のセル工程などの装置類を一式で提供するエンジニアリング事業も展開する。... この装置を核に、自社の洗浄機や他社から調達するレーザーエッチング装置、スパッタリング装置などを組み合わせる「...

隔膜式圧力計はメッキ装置やエッチング装置などに設置し、ポンプや配管内の圧力を0・6メガパスカルまで測定。