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記事検索結果
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ギガフォトン(栃木県小山市、榎波龍雄社長)と早稲田大学は新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)事業において、エキシマレーザーでガラス基板に効率的に微細穴を開ける...
「第2のムーアの法則」を提唱 大阪公立大学の笹子勝客員教授は、パナソニックでエキシマレーザーを使った半導体微細加工向けリソグラフィー技術を開発。
主流のArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザー液浸露光装置(i―ArF)が延命し、精度向上はもとより処理能力も飛躍的に上がった。
新工法「信越デュアルダマシン法」は、高性能なエキシマレーザーを利用し、大面積の電気回路パターンを一括成形する。
2ナノメートルノード以細の半導体の量産には、従来主流だったフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源とする露光技術を超える高度な材料選択とプロセス制御の知識が必要になる。
ネオンはエキシマレーザーなどに使われるが、内需のほぼ全量を輸入に頼り、主要生産国はウクライナやロシアなどで調達リスクが懸念される。... ネオンはエキシマレーザー発振用の混合ガスの主成分で、主に半導体...
ポリエチレンテレフタレートが熱に弱いため、加熱処理の代わりに紫外線エキシマレーザー照射で酸化インジウムを結晶化させた。
産業機械部門も自動車向けの鍛圧機械に加え、半導体産業向けのエキシマレーザー事業が好調だった。
CLBO波長変換素子は半導体製造や検査装置に使うエキシマレーザーに比べ、有毒ガスを使わずレーザーの品質が高い。エネルギー変換効率もエキシマレーザーの約5倍。
エキシマレーザーも波長248ナノメートルなど特定の波長の光を高強度で放出できる一方、それ以外の波長では強度が弱かった。
産業機械部門も自動車業界向けの鍛圧機械や工作機械販売が減少したほか、半導体市場向けエキシマレーザーが不振だった。
この先駆的な導入から、マイクロビア穴開けが生まれ、世界中のマイクロエレクトロニクス工場におびただしい数のCO2、固体およびエキシマレーザー穴開けシステムが導入され、レーザーによるビアホール穴開けは電子...
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)はオープンプラットホームの半導体製造装置解析ソフトウエア「FABSCAPE」の提供を始めた。
