アルバックはオーストリアの研究機関、シリコン・オーストリア・ラボ(SAL)と薄膜ニオブ酸リチウムの量産プロセスに対応したプラズマエッチング技術の開発で連携する。.....

今後もますます複雑になるAI半導体のニーズを新装置の投入で捉える。 ... より高精度にボンディングできる装置を開発する」と意気込む。 また、前工程では枚葉式高温リ...

従来に比べ極低温でエッチングする「クライオエッチング」だ。... そのほか、韓国のSKハイニックスなども装置の評価を進めるとされる。 ... NAND向けのエッチング装置は米ラムリサ...

リンテックはセンターを従来利用し、後工程のパッケージング技術に関するテープや装置、独自プロセスの開発を進めている。 寄付金は真空ラミネーターや反応性イオンエッチング装置などの導入に生...

成膜装置のイオン生成源として年間販売10台以上、売上高1億円の事業に育てる。 ... 成膜装置メーカーに電源と合わせてユニット機器としても供給するほか、自社の大型イオンエッチング装置...

キヤノンは後工程向けの露光装置でトップシェアを握る。... アルバックは強みを持つエッチング装置の技術などを微細なビアの形成に生かす。 ... アルバックはコンソーシアムの参加企業と...

エッチング装置参入狙う 日立ハイテクはプロセスノードが微細な先端分野において、エッチング装置や検査装置に強みを持つ。... 同社は技術難易度が高まることを想定し、後工程でのエッチング...

同社が持つ電子線や光学系の技術を組み合わせ、プロセスの早い段階で計測できるよう新たな装置を開発する計画だ。 ... 日立ハイテクはウエハーの計測・検査やエッチング装置を手がける。特に...

寄付金は集束イオンビーム装置、反応性イオンエッチング装置、真空ラミネーターなどの導入に活用する。

従来のプラズマエッチングと比べ、加工速度は4倍ほど高まるとされる。 NAND向けのエッチング装置は米ラムリサーチが独占する状況だが、クライオエッチングの研究開発では東京エレクトロンが...

同拠点は化合物半導体デバイスをはじめとした電子部品の量産に適したエッチング装置などの開発を担う。... 新棟には清浄度がクラス1000(米国連邦規格)のクリーンルームを設けるほか、最新...

ニッパツは2026年度までに、半導体製造装置部品を生産する宮田工場(長野県宮田村)で追加の生産能力増強に着手する。... 半導体製造装置部品を含む産業機器事業は23年3月期売上高が前期...

半導体回路を形成するエッチング装置に使う静電チャックなどの外周の面取り加工向けに提案する。 ... 主なワークはエッチング装置に使う静電チャック、フォーカスリング、シャワープレートを...

実現には半導体製造装置事業の拡大がカギを握る。... 「半導体前工程向け装置の最先端な研究開発を行う予定だ。... 25年の発売を目指し基礎評価を始めたところだ」 ―枚葉式のリン酸エ...

半導体の微細化が進む中、回路を形成するエッチング装置や回路の線幅などを測定する計測装置の重要性が増している。日立ハイテクはコンダクターエッチング装置で約7%と世界シェア4位級、計測装置の測長走...

市況に関係なく高水準の研究開発を継続し、市場規模の大きいエッチング工程の装置で画期的な技術の開発などにつなげてきた。... 3次元(3D)NANDのチャネル工程(垂直方向の穴を...

半導体の基本、日本半導体製造装置協会(SEAJ)が定める安全教育などの座学と、模擬クリーンルームや前工程用のドライエッチング装置などで実機研修する。

座学に加え模擬クリーンルームや前工程用ドライエッチング装置など半導体製造現場の設備・材料を使用。... 研修後は全国の半導体装置メーカー、同製造工場に配属する。

化合物半導体デバイスをはじめとした電子部品の量産に適したエッチング装置などの開発を担う拠点で、2024年12月の稼働を目指す。... 従来、主に研究開発用途の装置を手がけていたが「近年、量産用途での需...

【神戸】トーカロは31日、2025年3月期以降、半導体製造装置部品向け表面処理の新工場を3棟新設すると明らかにした。... 神戸工場はエッチング装置の排ガス管を保護するためのコーティングを手がけ、将来...