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神栄テクノ、微量水分計を小型化半導体製造向け（2023/5/30 機械・ロボット・航空機２）

【神戸】神栄テクノロジー(神戸市中央区、小山文也社長)は、ガス中の微量水分をキャビティーリングダウン分光法(CRDS)で計測する小型の微量水分計「デ...

「T―Biz」ではじめよう東北大学連携BI(10)BluePractice/ボ... （2022/2/21 東日本）

第1弾として投入した微量水分計は、微量水分がその品質に悪影響を与える半導体製造分野に採用されている。ボールウェーブの微量水分計は、ppm(100万分の1)―ppb(10億分の1...

技術で未来拓く・産総研の挑戦(122)高精度な湿度測定を目指して（2020/5/14 科学技術・大学）

産業技術総合研究所(産総研)では、微量水分測定の高精度化を目指して、独自に微量水分計の開発を進めている。... 微量水分計の精度を確保するには、微量水分の基準(標準)が...

ボールウェーブ、宇宙分野向けガス測定機 JAXAと共同開発（2020/1/21 機械・ロボット・航空機２）

すでに微量水分計を市場投入している。

輝け!スタートアップ(23)ボールウェーブ（2019/12/19 中小・ベンチャー・中小政策）

17年はハイエンド向け微量水分計、翌年には小型高速微量水分計を相次いで市場投入した。... 【裾野広げる】「(ボールウェーブの)微量水分計は徐々に知られるようになっ...

リアルタイム計測可能な微量水分計、ボールウェーブが投入（2018/10/18 機械・ロボット・航空機２）

【仙台】ボールウェーブ(仙台市青葉区、赤尾慎吾社長、022・302・6659)は、常時計測が可能な微量水分計「ファルコントレースミニ」を開発、市場投入した。... 半導体デバイスやリチ...

神栄、R&Dセンター拡張センサー開発を強化（2017/3/2 機械・ロボット・航空機１）

完全子会社、神栄テクノロジー(同)のホコリセンサーや微量水分計などのセンサーの開発を強化し事業を拡大する目的。

東北大発のボールウェーブ本格始動-大学ファンドなどから2億3000万円調達（2016/9/29 大学・産学連携）

半導体製造現場でニーズの高い小型・高感度の微量水分計向けに、世界的な大手企業が同社センサーの採用を決めており、進展が期待される。