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フレキシブル金電極、直接貼り合わせ 理研が接続技術、ウエアラブル配線提案 （2021/12/23 科学技術・大学）
金表面を水蒸気プラズマで活性化して金と金を貼り合わせる。... 電極表面は水蒸気プラズマで還元して活性化する。
新分野に売って出る/サムコ会長兼社長・辻理氏−「水蒸気プラズマ」技術活用 （2018/4/20 モノづくり）
ドライ洗浄装置向けで培ってきた「水蒸気プラズマ」技術を、チップ加工や滅菌に生かす考えだ。... 「水蒸気プラズマで処理し、シクロオレフィンポリマー(COP)樹脂のチップを接合する。.....
サムコ、水蒸気プラズマでドライ洗浄−電子部品の電極酸化・再付着防止 （2016/9/29 電機・電子部品・情報・通信１）
【京都】サムコは28日、水蒸気プラズマを用いたドライ洗浄技術を業界で初めて開発したと発表した。... 原料は水蒸気が主体。... 現在主流の酸素プラズマや水素プラズマを利用した洗浄装置からの置き換えを...
