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ちょっと訪問/東邦鋼機製作所 基板平坦化で次世代装置 （2024/2/8 電機・電子部品・情報・通信１）
23年9月に鈴木辰俊社長(現会長)からバトンを受けた鈴木英資社長は「同装置を普及させ、研究成果の社会実装を実現する」と語る。
東邦エンジ、ウエハー研磨用パッドの表面検査装置を投入 （2014/11/28）
【津】東邦エンジニアリング(三重県四日市市、鈴木辰俊社長、059・364・3811)は、2015年1月5日に半導体ウエハーを研磨するCMP(化学的機械研磨)パッドの表面...
