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フッ素樹脂への配線簡略化 芝浦工大が新技術 （2020/5/22 科学技術・大学）
芝浦工業大学工学部応用化学科の大石知司教授は、光照射とアンモニア水溶液を用いたフッ素樹脂上への簡便な銅微細配線形成技術を開発した。... 感光材料を利用しパターンを生成する「フォトリソグラフィ法」で幅...
