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記事検索結果
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化合物半導体ウエハーはシリコンと比べ、結晶欠陥が多いと言われ、デバイスの安定生産や歩留まり向上には品質向上が不可欠。... まずはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使った微小電気機械シス...
今後、センサーやアクチュエーター、各種微小電気機械システム(MEMS)デバイスなど用途を探索し、事業化を目指す。 ... 同社はKNN薄膜でPZT薄膜の置き換えを図る...
また超音波センサーなど微小電気機械システム(MEMS)デバイスの感度を20倍に向上させる圧電単結晶薄膜接合ウエハーの試作に成功。11月に圧電MEMSデバイスメーカー向けにサンプル提供を...
産業技術総合研究所(産総研)では薄いシリコン構造体だけをフィルム基板と一体化し、橋梁や人体に沿ってMEMSデバイスを貼り付けることができる極薄MEMSデバイス技術を開発した。 ...
交通事故の低減など安全な車社会の構築に向けて、安全で快適な運転を支援するデバイスの要求が高まっているためだ。... 開発を担当する先進マテリアルデバイス研究所車載デバイス開発部では「ティア1が持つHU...
私は、学生時代にMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を利用した光通信用アンテナの研究を行っていた。... 私はこれま...
だが中長期的な効果として、原子時計による全地球測位システム(GPS)、微小電気機械システム(MEMS)デバイスや電気自動車(EV)の性能向上などへの利用...
最近は半導体製造技術を発展させて製作されるセンサー・アクチュエーターを一体化させた微細加工部品の微小電気機械システム(MEMS)デバイスの応用範囲が広がっており、おのずと位置決めの高精...
【京都】村田製作所は20日、50億円を投じてフィンランドに微小電気機械システム(MEMS)センサーの生産棟を建設すると発表した。... 同社はMEMSセンサーの売上高を、年率10...
半導体やフラット・パネル・ディスプレー(FPD)、微小電気機械システム(MEMS)デバイスの製造プロセス向けで、歩留まり向上や品質確保につながる。
【名古屋】豊橋技術科学大学は、10月に微小電気機械システム(MEMS)デバイスや集積化センサーの研究動向などを学ぶ研究会を開設する。... MEMSデバイスやセンサーデバイス関連の関係...
MEMSは1995年に世界最初のシリコン深掘り装置が開発され、製品化された。実は、私が携わってきた微細加工技術事業のシードテクノロジーで、微細加工によって多くのMEMSデバイスの新規開発が可能になった...
アナログICやパワー半導体関連では150ミリメートルや200ミリメートルのウエハーが今も主流で、次世代パワー半導体や微小電気機械システム(MEMS)デバイスでも同サイズが使われる。
【京都】SCREENホールディングスの半導体装置事業会社、SCREENセミコンダクターソリューションズと、三菱マテリアルは23日、微小電気機械システム(MEMS)デバイスにチタン酸ジル...
大研医器はドイツのフラウンホーファー研究機構と、微小電気機械システム(MEMS)を用いたディスポーザブル(使い捨て)型医療機器の開発で共同研究契約を結んだ。... 今後...
【京都】第一精工は圧電薄膜を使った微小電気機械システム(MEMS)のデバイス分野に参入する。... 圧電MEMSデバイスはジャイロセンサーや振動センサー、高周波(RF)...
圧電MEMSデバイスの生産能力向上や、低コスト化につながる。... また大日本印刷と共同で、PZT薄膜を形成したウエハーを圧電MEMSデバイスに加工する技術を開発。... PZT薄膜を使った圧電MEM...
MEMSデバイス事業は限られた経営資源を有効に生かすため、新製品開発を絞り込み、先行き成長できない製品は継続を断念する。
エンジンの精密機械加工部品の表面粗さ・形状測定や半導体の電極形状の測定、レジスト膜の厚み測定、加速度センサーなどMEMSデバイスの測定などが可能。
住友精密工業は微小電気機械システム(MEMS)デバイス事業で選択と集中を進める。... MEMS製品は住友精密の新規事業を担う「創事業部」が手がける。現在は産業用機械などに搭載するジャ...
