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立命館大と千葉大、MEMS環境振動発電素子を開発 荷電処理不要 （2021/12/23 科学技術・大学）
有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)素子用材料のTPBiを真空蒸着法により常温成膜し、MEMS内部に表面電位を形成して実現した。
