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[ 科学技術・大学 ]
産総研と地域企業・産業振興で連携（４７）日本タングステン
(2016/9/1 05:00)
【プラズマ腐食】
半導体デバイスの主要製造プロセスの一つにプラズマエッチングがある。シリコンウエハーなどを腐食性ガスのプラズマにさらして、溝や穴などの微細加工...
（残り：1,083文字／本文：1,163文字）
(2016/9/1 05:00)
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