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記事検索結果
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その後、96年に科学技術振興事業団(現科学技術振興機構)の補助金を得て、3次元イオン注入用パルス電源の開発に成功した。また、98年には工業技術院大阪工業技術研究所(現産業技術総...
配電盤など電力機器が国内外で伸長するほか、中小型フラットパネルディスプレー(FPD)製造用イオン注入装置需要が海外を中心に増加する。
住友重機械工業はイオン注入装置を手がける子会社SEN(東京都品川区)の社名を4月1日付で「住友重機械イオンテクノロジー」に変更すると26日に発表した。
一方、子会社が手がける太陽光発電用パワーコンディショナーや、中小型液晶パネル製造用イオン注入装置、建設用鋼材などで需要減少や期ズレがあり、利益項目は従来予想を据え置く。
イオン注入工程など回路形成以外での使用が増えており、2015年度は前年度比3割増の売り上げを見込む。... 一方、半導体の微細化に伴い、KrFレジストがシリコンウエハーに不純物イオンを注入する工程に使...
従来のプロセス比で40%以上の時間短縮が可能で、イオン注入プロセスの大幅な工程削減につなげた。 ... 従来のマスク材料と同様に、ウエハーへのイオン阻止性能やイオン注入処理後...
産業技術総合研究所の以前の組織であるダイヤモンド研究センターがイオン注入を使う手法で、成長した単結晶を種結晶から分離することに05年に成功した。
応用として、シリコン集積回路の主要技術であるイオン注入法でSiC薄膜の欠陥密度を制御するなど、より精密なプロセスが導入できるという。
ソイテックの技術は軽元素のイオン注入技術とウエハーの貼り合わせ技術を用いることで、1枚の半導体基板から単結晶の薄膜を原子レベルで切り出す技術。
500度Cの温度で窒素ドーパントをイオン注入したSiCウエハーや、イオン注入後に1400度Cと1800度Cで熱処理したウエハーのXAFSスペクトルを測定することができた。
【京都】日新電機は26日、中国・江蘇省揚州市で半導体・薄型ディスプレー(FPD)製造用イオン注入装置の生産を7月に始めると発表した。... 日新意旺高科技はイオン注入装置メーカー。.....
【京都】日新電機は27日、子会社の日新イオン機器(京都市南区)が開発した5・5世代ガラス基板対応フラットパネルディスプレー(FPD)製造用イオン注入装置「イオンドーピン...
現地半導体工場からイオン注入装置の大口受注を得たことを機に、米国での装置立ち上げや保守業務などに関するサポート体制を強化する。資本金は150万ドル(約1億2600万円)で日新イオン機器...
三井造船は27日、子会社のエム・イー・エス・アフティ(東京都八王子市、内田省寿社長、042・632・8840)がアクティブ型有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプ...
延べ床面積360平方メートルのクリーンルームがあり、イオン注入や拡散、エッチング、露光、プラズマ処理など半導体の生産工程で必要な製造装置が整っている。
一方、エム・イー・エス・アフティは半導体の成膜装置を製造するほか、2009年には三井造船からイオン注入装置の事業部門を譲り受けた。成膜から不純物注入、熱処理までの各工程の技術者をエム・イー・エス・アフ...
▽「太陽光発電パネル用の小型防水式精密コネクタの開発」ジョイン(東京都大田区)▽「高速半導体検出器を用いた歯科用パノラマ3D画像表示装置の開発」テレシステムズ(大阪市浪速区&#...
