ニッパツは2023年度までに半導体製造装置向け部品の生産能力を倍増する。... 同工場は「成膜装置用マルチゾーン制御ステージヒータ」や「エッチング装置用溶射付冷却板」と呼ばれる、半導体製造装置に用いる...

【用途は多種多様】 高純度ガスの用途は半導体の成膜材料やエッチング工程、洗浄工程と多種多様だ。同社は大手の一角で、エッチングを中心に約20種類を扱う製品群の幅広さを特徴とする。......

日立ハイテクは、米国オレゴン州ヒルズボロ市に、半導体製造・検査装置向けソリューションの顧客との協創拠点を設立する。... 既存拠点では主に、半導体製造装置の一種である「エッチング装置」の開発を手がけて...

成膜装置、ガスケミカルエッチング装置といった半導体製造装置のほか、半導体回路の微細化に重要な「パターニング技術」などの開発も行う。

最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。... 成膜装置やエッチング装置などの工程への波及効果を見込む。 &...

AMTIはプラズマ制御によるCVD(化学気相成長)装置などに強みがあり、ジャパンクリエイトでは自社の半導体ウエハーエッチング装置の強化につなげる。 ... ジャパンク...

半導体製造装置市場が活況を呈している。... 今後デジタル変革(DX)が進めば、テレメトリックスの幅はより広がっていくだろう」 ―岩手県、山梨県の新棟で、エッチング装...

サムコは窒化ガリウム(GaN)などの化合物半導体デバイスの中規模量産に対応した化学気相成長(CVD)装置やドライエッチング装置の提案を始めた。... 20年7月期はCV...

スパッタリング装置やドライエッチング装置、ナノインプリント装置、電子顕微鏡などを設置。... またクラス10000のクリーンルームを備える「NANOBIC」のオープンラボも利用できるため、自社の機械・...

住友大阪セメントは、半導体製造装置向けの炭化ケイ素(SiC)セラミック部品を製造する市川事業所(千葉県市川市)で、セラミック焼成用のホットプレス(焼成炉)...

半導体製造装置の製造パイロットラインを笠戸事業所(山口県下松市)に設置する。... 笠戸事業所は半導体向けエッチング装置の生産拠点。半導体製造装置と医用分析装置を手がける那珂事業所&#...

現地顧客へのサポート体制充実を目的に、主力の半導体製造装置のメンテナンスに加え、実機によるデモンストレーション、簡単な組み立てや加工なども行う。... 近年、高いシェアを持つ半導体ウエハー用エッチング...

主力のエッチング装置が好調だった。半導体メモリー需要の軟化や米中貿易摩擦などを背景に、半導体製造装置市場は足元では調整局面に入っているものの、笹川謙経理部長は「19年後半からの投資回復を期待する」とし...

サムコは直径200ミリメートルウエハー対応で化合物半導体やシリコン、多様な金属薄膜などの微細加工ができる汎用の誘導結合型プラズマ(ICP)エッチング装置を刷新し、新型機を発売した。.....

【京都】サムコは直径200ミリメートルウエハー対応で化合物半導体やシリコン、多様な金属薄膜などの微細加工ができる汎用の誘導結合型プラズマ(ICP)エッチング装置を刷新し、新型機を12日...

半導体製造装置の一種であるプラズマエッチング装置の内部部品への皮膜の開発を進めている。

前処理用装置やリサイクル用除膜装置と組み合わせ、工具メーカーなどに提案する。... 工具用は超硬金属表面のコバルトを取り除く、前処理工程用装置も合わせて提案。16年に発売したダイヤモンド被覆を取り除く...

東京エレクトロンは、従来機に比べて薄型ディスプレー(FPD)の微細加工に使うプラズマのエネルギー効率を20%向上したドライエッチング装置「Impressio(インプレッ...

半導体製造装置を製造する子会社の東京エレクトロン宮城(宮城県大和町)の本社隣接地で、敷地面積は11万1000平方メートル。... 同日、宮城県庁で開いた協定締結式で、河合利樹東京エレク...

那珂地区では半導体製造工程の管理や生産性の向上に活用できる装置「CD―SEM」や、ウエハー上の微小異物や欠陥を検査する装置などを生産している。 【検査を自動化】 那...