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サムコ、直径200ｍｍ対応汎用ＩＣＰ装置 21年ぶり刷新
(2018/12/5 05:00)
【京都】サムコは直径２００ミリメートルウエハー対応で化合物半導体やシリコン、多様な金属薄膜などの微細加工ができる汎用の誘導結合型プラズマ（ＩＣＰ）エッチング装置...
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(2018/12/5 05:00)
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