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酸化ガリウム単結晶基板の製造・加工用設備、検査設備のほか、ウエハー上に酸化ガリウムをエピタキシャル成長させる成膜装置を追加導入する。22年度中に複数枚のウエハーを同時に成膜できる新たな装置を開発予定で...

成膜装置や帯電した原子や分子(イオン)注入機、洗浄装置など裏面工程の装置を増設する。

成膜装置も自社で開発した。... さらに3工場に新装置各4台を導入した。

同日会見した河合利樹社長兼最高経営責任者(CEO)はデジタル化の進展や半導体の性能向上などを背景に製造装置市場は成長が続くとした上で「付加価値の高い次世代装置を投入することで市場シェア...

氷を載せる支持膜が必要だが、膜厚が薄いほど信号を遮るノイズを抑制できる。 ... 顧客拡大を目的に、現在は同支持膜の割引キャンペーンを展開中。... 今春には本社を置くインキュベーシ...

大陽日酸(東京都品川区)、東京農工大学と共同で成膜装置を開発・製造した。... 2024年度に成膜の量産装置を製品化を目指す。 ... 今回開発した成膜装置...

明電NPI、常温で成膜 半導体装置 (2022/3/4 電機・電子部品・情報・通信)

明電ナノプロセス・イノベーション(NPI、東京都品川区、高田壽士社長)は、高純度100%オゾン(ピュアオゾン)を酸化源とする成膜装置「バッチ...

【京都】サムコはALD(原子層堆積)装置を中心とした薄膜形成装置開発やナノレベル(ナノは10億分の1)の酸化膜、窒化膜などの成膜プロセス技術開発に特...

高温で有機薄膜 東大など装置 (2021/12/14 科学技術・大学)

東京大学の伊藤雅人大学院生と渡辺峻一郎准教授、物質・材料研究機構の有賀克彦MANA主任研究者らは協和界面科学(埼玉県新座市)と、高温で有機薄膜を作る成膜装置を共同開発した。....

VACUUM2021真空展/根強い半導体需要 薄膜形成・圧力見える化 (2021/12/2 機械・ロボット・航空機1)

再生可能エネルギー生成装置や食品・薬品・化学品分野などでの利用が進む。... 同社産業機器営業部の村山洋部長は「成膜する物に反射電子やエックス線(X線)などによるダメージを低減できる。...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(4) (2021/11/19 機械・ロボット・航空機)

シンクロン/スパッタ成膜装置 大型対応 シンクロン(横浜市西区)は、光学用スパッタ成膜装置「RAS―2200=...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(2) (2021/11/9 機械・ロボット・航空機1)

オプトラン/スマホ向け原子層堆積装置 オプトランはスマートフォンやミニ・マイクロLED(発光ダイオード)向けの原子層堆積...

「(顧客に納入した装置の)故障予知技術が進展してきた。... 「これまで(装置を利用する工程として)まずは装置内に必要なセンサーを設置して装置の状態を『可視化』し、デー...

ニッパツは2023年度までに半導体製造装置向け部品の生産能力を倍増する。... 同工場は「成膜装置用マルチゾーン制御ステージヒータ」や「エッチング装置用溶射付冷却板」と呼ばれる、半導体製造装置に用いる...

同MEMSのPZT薄膜は一般に多結晶だが、住友精密はFOMを高められる単結晶で成膜する技術を築いた。... 3年かけ内製した専用の成膜装置により、製造の難しい単結晶を欠陥なく最適化した結晶構造で成膜で...

(小寺貴之) 大御所、一笑に付すもJST事業で若手活躍 「成膜装置が壊れるまで実験し続けたら、きれいな膜ができた。

3月に米半導体製造装置大手アプライドマテリアルズはKOKUSAIの買収を断念した。... 世界的な半導体不足で半導体製造装置需要は活況を極めている。... バッチ式成膜装置を得意とするKOKUSAIの...

成膜装置、ガスケミカルエッチング装置といった半導体製造装置のほか、半導体回路の微細化に重要な「パターニング技術」などの開発も行う。

【諏訪】コシブ精密(東京都練馬区、荻原太一社長、03・3934・2670)は、2億3000万円を投じて独社製のレーザー描画装置を導入した。... 今後数千万円をかけ、洗浄装置や成膜装置...

真空装置でも熱制御技術は必要だ。太陽電池に向けた大面積の成膜装置については、熱制御によるガラス基板の変形を伝熱解析と応力解析を組み合わせて解析する技術開発に取り組んでいる。人工衛星は宇宙の熱環境に耐え...

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