生産効率化や増員により、2―3年後をめどに半導体製造で使うエッチング装置の生産能力を現在の2倍に引き上げる。... エッチング装置は、ウエハー上に形成した薄膜を微細加工するために使われる。... エッ...

【立川】ワイエイシイホールディングス(HD)は、第6世代フラット・パネル・ディスプレー(FPD)向けドライエッチング装置の生産能力を最大2倍に高める。... ワイエイシ...

半導体業界がスーパーサイクルに入ったとみられる中、河合利樹社長兼最高経営責任者(CEO)は「(ウエハー上に回路材料の層を作る)成膜装置や、(ウエハー上に形成した...

東京エレクトロンは、ロボットを活用して半導体製造装置の生産効率化に乗り出す。... 東京エレクトロン宮城(宮城県大和町)は、ウエハー上に形成した薄膜を微細加工する「エッチング装置」の生...

夏頃をめどに、最先端の成膜装置やエッチング装置などを導入する計画。

日立ハイテクノロジーズは、半導体ウエハーの加工精度を向上できる半導体製造装置用モジュール「チャンバー」を開発した。半導体ウエハーを入れてエッチングを行うために使う。... 開発したチャンバーは、日立ハ...

三井金属は7日、半導体製造装置の腐食を防ぐ保護膜の材料となるフッ化物系イットリウム(写真)について、子会社の日本イットリウム(福岡県大牟田市)が12月までに生産能力を現...

液晶パネルの製造工程で使う洗浄装置など、これまで外部に製造委託していた大型製品を内製化する。... 液晶パネル製造装置は大きいものだと高さ5メートル、幅や奥行きが10―15メートルあるため、本社工場で...

半導体製造装置の生産棟で使う部品の保管などに活用する。... 同社はウエハー上に形成した薄膜を微細加工する「エッチング装置」の開発・設計・製造を手がける。... 今後の市場成長が見込まれるエッチング装...

プロセスチャンバー最大5基搭載 東京エレクトロンは、ガスやプラズマを使って薄膜を加工するフラット・パネル・ディスプレー(FPD)製造装置...

東京エレクトロン宮城(宮城県大和町、北山博文社長、022・346・3000)は、半導体製造装置の開発を行う「新開発棟」を着工した。... 同社はウエハー上に形成した薄膜を微細加工する「...

「化学気相成長(CVD)装置やエッチング装置が厳しい環境下で使われるようになり、シール交換までのメンテナンスサイクルをいかに延ばせるかがカギを握る。... ただ、中国の半導体製造装置メ...

同社で開発・生産するのは、今後の市場成長が特に見込まれる、ウエハー上に形成した薄膜を微細加工するエッチング装置だ。... 「11年に完成したプラズマエッチング装置の主力拠点で、開発・設計から生産までを...

【川越】ジャパンクリエイト(埼玉県所沢市、上杉昌義社長、04・2938・3111)は、2018年早々にも本社工場の隣接地に半導体製造装置を製造する第2工場を開設する。... ジャパンク...

中国・広東省の工場に光通信部品「LN変調器」の新生産ラインを設け、市川事業所(千葉県市川市)では半導体製造装置部品「静電チャック」の生産設備を追加する。... 静電チャックはエッチング...

2018年までには装置のサポートを含め、体制を整えたい。... 「共同開発に使う最新エッチング装置などの設備を増強する。... 日本に加え、中国、欧米でも旧世代装置の顧客は多い。

《半導体・電子部品製造装置メーカーとして、独自の地位を築いたサムコ。... M&A(合併・買収)を含め、事業拡大を急ぐ必要がある》 「売上高の7割はエッチング...

JCUが開発したのは、ロール形状のまま一度に両面メッキ加工できる「ロールtoロール方式」の無電解メッキ装置と硫酸銅メッキ装置、および付随する薬品。すでに発売している同方式のプラズマエッチング装置と合わ...

ところがエッチング装置内の部材も必然的にプラズマによって腐食され、短期間で損耗するものも多い。... 特に産総研が持つ量産用プラズマエッチング装置を用いて各種材料を評価できたことや、半導体製造プロセス...

【新明和工業/薬液なしで除膜・再生】 新明和工業は超硬製品の除膜や再生を可能にするイオンエッチング装置(写真)を出展する。... 【佐藤...