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[ エレクトロニクス ]
日立ハイテク、半導体製造装置モジュール 3D NAND型に有用
(2018/3/28 05:00)
日立ハイテクノロジーズは、半導体ウエハーの加工精度を向上できる半導体製造装置用モジュール「チャンバー」を開発した。半導体ウエハーを入れてエッチングを行うために使...
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(2018/3/28 05:00)
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