6インチ品の供給を増やすため、全サイズに対応可能なCVD装置(成膜装置)を増設した。... 新装置は従来装置に比べて生産効率性が約3割高く、コスト削減にも寄与する。

ワッティー、大学や企業の研究開発向け「ALD(原子層堆積)成膜装置」を発売した。アルミナや酸化チタンなどの成膜物質を原子1個分の厚みで制御し、積層できる。... 成膜材料が充填されたボ...

▽吉野機械製作所(船橋市)=鋼板折り曲げ加工機「サーボドライブ式プレスブレーキ」▽ロック技研工業(八街市)=低抵抗ITO成膜技術を応用した巻き取り式真空...

コメットはコンビナトリアル・ハイスループット成膜装置を開発・販売する。国内のコンビナトリアル・スパッタ装置はコメットの独占状態。... 受託実験として実験をコンサルティングし、装置販売につなげている。...

DLC薄膜製造装置「ナノコート」シリーズの第1号機を開発したのは90年のこと。... 「ダイヤモンドのように硬く、グラファイトのように滑らかで摩擦係数が少なく、軽く、化学反応を起こしづらい膜があれば、...

日本製鋼所は12日、薄型ディスプレーのガラス基板向け成膜装置の事業化にめどをつけたと発表した。... 同装置を含む成膜装置を扱う子会社を2月に設立。... 日本製鋼所が100%出資する子会社、...

第一精工はスピンコートという手法を用い、液体のPZTをシリコン基板上に成膜する技術を確立する。... 成膜装置や関連設備を導入するほか、クリーンルームも整備する。... 成膜技術やMEMS技術を高度化...

【10日】 ◎フジ・サンヨー (1)化学機械装置製造(2)名古屋市南区(3)1000万円(4)千賀茂樹(...

同法は成膜装置で生成した薄膜サンプルを、真空を保った状態でXPS測定装置へ搬送し、両X線を照射する。... 評価装置は完成し、無機化合物材料についての実証実験も完了。

山口県産業技術センターと共同開発した成膜装置を活用する。... 同装置は本社工場に設置。電極から伸びた電線にワークを吊(つ)るして成膜する。

【千葉】ナノテック(千葉県柏市、中森秀樹社長、04・7135・6111)は、水素を含まない真性カーボン膜(ICF)を1分間で厚さ660ナノメートル(ナノは10億...

ガス化の技術を生かしたバイオマス発電装置では約10年の蓄積があり、バイオコークス製造装置で用いる減容化技術も80年代には同社のほかの製品ですでに使われていた。... バイオマス発電や太陽光発電関連の装...

【新明和工業/装飾膜用装置などパネル展示】 新明和工業は自動車のヘッドランプなどの装飾膜形成用真空成膜装置(写真)と光学用真空成膜装置、冷凍機をパネル展示す...

材料と成膜装置の工夫で低抵抗と高透過を両立させた。 ... 成膜装置は対向ターゲット式スパッタ装置を改良した。... 今後、毎分数十センチメートルの成膜速度の高速化や銀に代わる材料開...

各種計測機器や成膜装置のバーコーターなどを導入、エポキシ樹脂の多孔体樹脂を活用したリチウムイオン電池のセパレーターの開発や量産技術の確立などを研究する。... 京大、鶴岡工業高専と3者が「ポリマーモノ...

有機ELの弱点である水蒸気を遮断する成膜装置を世界で初めて投入した。成膜装置は食品包装などにも使われなじみ深いが、「そのレベルは何ケタも違う」とか。

商品化した成膜装置「W60Cシリーズ」は、国内成膜メーカー数社から先行受注した。... 同装置は化学気相成長(CVD)を採用したロールコータ(ロール・ツー・ロール成膜装置...

【京都】島津製作所は結晶シリコン型太陽電池セルの長寿命化、高効率化につながるプラズマ化学気相成長(CVD)反射防止膜成膜装置「MCXS」を4月1日に発売する。... 縦型の基板配置や成...

4月にも大型半導体製造用の成膜装置やリチウムイオン電池、レアアース磁性材料などの加熱・焼成装置向けに受注を始める。 ... また、常圧焼結タイプは高剛性、耐熱性、耐食性、耐摩耗性から...

【名古屋】名古屋大学プラズマナノ工学研究センターの堀勝教授らは、薄膜シリコンに堆積する水素原子の密度について、成膜装置壁面温度が高いほど下がることを突きとめた。... 堀教授らは成膜装置の壁面温度を監...