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名大が発見、水素原子密度−成膜装置の壁面高温ほど低下
(2013/1/18 05:00)
【名古屋】名古屋大学プラズマナノ工学研究センターの堀勝教授らは、薄膜シリコンに堆積する水素原子の密度...
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(2013/1/18 05:00)
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