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阪大、NEMSアクチュエーターを共同開発−機能性酸化物で立体構造 （2017/7/24 科学技術・大学）
大阪大学産業科学研究所の田中秀和教授とイタリア・ジェノバ大学物理学科のダニエル・マーレ教授らは、機能性酸化物セラミックスを使用したNEMS(超微小電気機械システム)高周波アクチュエータ...
