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記事検索結果
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実用化すれば欠陥検査を高速化できるほか、ナノ材料(ナノは10億分の1)のさまざまな化学情報を観察できるため、半導体産業だけでなく、幅広い分野への応用を目指す。 ......
MCソリューションは三菱ケミカルと、韓国で半導体材料を製造販売するソウルブレインホールディングス(HD)が折半で出資する。三菱ケミカルが開発したディスプレー用レジスト材料などをソウルブ...
GRRMによる化学反応の研究は用途が広く、例えば半導体ウエハーに塗布して微細なパターンを形成するレジスト材料の分子シミュレーションなどにも用いられている。
半導体関連材料は市場投入から本格展開までのスピードが速まる中、半導体メーカーと直接対話し効率的な研究開発ができている。今後は次世代半導体向けの成膜材料、3次元実装など新しいプロセス技術に対応したレジス...
「新井工場でレジスト(材料)、大竹工場で過酢酸、播磨工場で火薬と、3製品を実証している。
レジスト材料やリチウムイオン電池用電解質など高い成長が見込まれる「ソリューション事業」を主に拡大する。
光源開発が進む一方、EUVリソグラフィに最適なレジスト材料の開発は遅れており、世界的な開発競争が繰り広げられている。従来のレジスト材料は紫外線との化学反応だった。... QSTのプロジェクト「EUV超...
東洋合成工業は、半導体の主要製造プロセス材料のフォトレジストの材料となる感光材やポリマー、高純度溶剤などを取り扱う。... 東洋合成工業は、電子材料および半導体需要の拡大を見据えて...
化学メーカー各社の半導体材料事業が好調だ。... 同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比...
レジスト材料の有機物はEUVと反応しにくく、露光機の消費電力量は多すぎ、そこまで高性能な半導体の用途もなかった。... このため電気信号の損失を抑える材料や放熱材料の新素材開発を加速する。... 既存...
直江津工場で製造するレジスト製品のうち、主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力が現状比1・3倍、台湾では主力製品である多層レジスト材料の生産能力が同1・5倍となる。.....
大阪有機化学工業は29日、金沢工場(石川県白山市)に新棟を建設し、半導体レジスト材料の生産体制を強化したと発表した。フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EU...
DICは26日、半導体実装向け厚膜レジスト用樹脂として、高耐熱性と柔軟性を兼ね備えたフェノール樹脂「RZ―230シリーズ」を開発したと発表した。 ... 厚膜レジスト材料にはネガ型ポ...
事業拡大を見据え、新材料を製造・販売する大学発ベンチャーの設立も検討する。 実用化した水溶性マイクロパターニング材料は、使い捨て分析用バイオ流路やRFタグを製造する微細加工、基板上の...
IBMが開発したIMSは、レジストで形成したウエハー上のマスク開口部に溶融ハンダを直接注入して埋め込み、微細なハンダバンプをつくる。今回、JSRが溶融ハンダを埋め込む際の高温に耐えられるレジスト材料を...
【富山】富山県立大学工学部機械システム工学科の竹井敏准教授、花畑誠客員教授は、基板上にフォトレジストのパターンを形成するリソグラフィプロセス向けに、植物由来の水溶性高分子材料を開発した。... ただ水...
「物質、材料、生産」分野に米テキサス大学オースチン校のグラント・ウイルソン教授(73)とサウジアラビア・アブドラ国王科学技術大学のジャン・フレシィエ副学長(68)、「生...
日立化成の半導体用研磨材、信越化学やJSRのレジスト材料なども堅調。... 電子材料の収益悪化を受けて内需向け事業の底堅さが目立つ。... 住友ベークライトも建築用材料事業が増益だった。