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早大など、SiCウエハー平坦化 水素熱使い処理技術 （2023/7/25 科学技術・大学）
水素雰囲気で熱処理するとウエハー表面からケイ素や炭素が除去される。... 水素熱処理はCMPのダメージ層を除去するために行う。CMP工程を省いて直接水素熱処理で平坦化することも可能になる。
