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早大など、SiCウエハー平坦化 水素熱使い処理技術
(2023/7/25 05:00)
早稲田大学の乗松航教授（名古屋大学客員教授）と名大の榊原涼太郎大学院生らは、原子レベルで炭化ケイ素（...
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(2023/7/25 05:00)
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