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フジキン、センサー付き超小型IoT対応バルブ開発集積ガスシステム向け（2022/6/15 機械・ロボット・航空機２）

集積化ガスシステム(IGS)に組み込むなどして販売する。... 半導体の回路が高集積化しウエハーが大口径化する中、半導体製造プロセス全体で不具合が起きると大きなロスになる。そのため各種...

フジキン、東北工場拡張集積化ガスシステム増産（2018/11/1 機械・ロボット・航空機１）

フジキン(大阪市北区、野島新也社長、06・6372・7141)は、東北工場(岩手県奥州市、写真)を拡張し、半導体製造装置向け集積化ガスシステム(IGS)...

フジキン、IGS用バルブ開発開閉耐久性80%向上（2018/6/19 機械・ロボット・航空機２）

【東大阪】フジキン(大阪市北区、野島新也社長、06・6372・7141)は、半導体製造装置の集積化ガスシステム(IGS)用で、安価な高耐久性ダイレクトダイヤフラムバルブ...

フジキン、半導体製造装置向け電子バルブの生産能力増強（2017/5/26 機械・航空機２）

【東大阪】フジキン(大阪市北区、野島新也社長、06・6372・7141)は、2018年3月までに国内外で約70億円を投じ、半導体製造装置向け電子バルブと同バルブを使った集積化ガスシステ...

真空展・紙上プレビュー(3)高砂工業ほか（2014/10/9）

【テクノアルファ/真空装置内の製品温度測定】テクノアルファは真空成膜や蒸着などの各種真空プロセス中の製品温度を測定できる「真空成膜プロセス向け温度モニターシステム=...