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フジキン、ＩＧＳ用バルブ開発 開閉耐久性80％向上
(2018/6/19 05:00)
【東大阪】フジキン（大阪市北区、野島新也社長、０６・６３７２・７１４１）は、半導体製造装置の集積化ガスシステム（ＩＧＳ）用で、安価な高耐久性ダイレクトダイヤフラ...
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(2018/6/19 05:00)
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