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サムコ、工程モジュール3室搭載 電子デバイス製造クラスターツール （2021/12/14 電機・電子部品・情報・通信１）
【京都】サムコは13日、窒化ガリウム(GaN)や炭化ケイ素(SiC)パワーデバイス向けなど、非シリコン材料を用いた電子デバイスのエッチング...
