記事検索結果

リオン/高粘度試料、原液のまま測定（2019/11/4 新製品フラッシュ２）

高粘度フッ化クリプトン(KrF)や厚膜レジスト、ワニス、ポリイミドの原液測定が可能。

高粘度液、希釈せず微粒子測定リオンがシステム発売（2019/10/1 機械・ロボット・航空機１）

システムは高粘度フッ化クリプトン(KrF)や厚膜レジスト、ワニス、ポリイミドの原液測定が可能。

DIC、AIで半導体実装向け樹脂開発高耐熱・柔軟性兼備（2018/12/27 素材・ヘルスケア・環境）

DICは26日、半導体実装向け厚膜レジスト用樹脂として、高耐熱性と柔軟性を兼ね備えたフェノール樹脂「RZ―230シリーズ」を開発したと発表した。 ... 厚膜レジスト材料にはネガ型ポ...

東京応化、旧世代レジスト拡販−3Dメモリー向け（2014/11/21）

先端半導体で最も微細な回路を描く層にはArF液浸レジストが使われる。... 14年4―9月期のKrFレジストの売上高は前年同期比15%増の約50億円。... さらに3Dメモリーの量産が本格化す...

革新の遺伝子・京都企業の挑戦(69)エスケーエレクトロニクス（2013/7/19）

そこに成膜やレジスト、コーティングといったプロセス技術のノウハウが詰まっている。... そんな未来の4番候補の一つがフォトマスクを3次元化した厚膜レジスト技術だ。

厚膜レジストと電解メッキを組み合わせたMEMSプロセスで作る。

【立川】ナノシステムソリューションズ(東京都多摩市、芳賀一実社長、042・339・8440)は従来機比5倍の速度でレジストの微細3次元加工ができる高速マスクレス露光装置「D―light...

タカトリ、MEMS参入−2年後めど量産機を投入（2008/2/1）

MEMSベンチャーのメムスコア(仙台市太白区)、日本化薬グループの協力を得て、加工終了後も除去されない永久膜として使用するドライフィルムレジストを張り付ける装置を開発した。... フィ...