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記事検索結果
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その後もフォトマスクブランクス、フッ化アルゴン(ArF)レジスト、多層膜材料、極端紫外線(EUV)レジストなどを手がけた。
ダイセルはレジスト向けにポリマーや溶剤を供給している。... ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり、10年頃からシェアが拡大し始めたという。....
渡辺哲也執行役員経営企画本部長は「ArFレジスト市場は、今後10年は伸び続けると考えている。... ArFレジストの需要拡大とEUVレジストの進展を踏まえ、両レジスト用モノマーが生産可能な設備とする。...
100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。... 大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端...
同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。... 同社は液浸ArFレジストで高いシェアを持つ。EUVレジストも採用が...
FFEMはEUVレジストの開発や生産に向け、今回の検査装置導入を含め計45億円を投資した。液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストなどで培った知見も生かす。現在、信越化学工業などがEUVレ...
EUVレジスト生産開始/基礎化学研究も 住友化学は、第5世代通信(5G)関連素材の事業化を加速する。... 現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわず...
1968年には日本初の半導体レジストの製造を開始以来、常に世界半導体レジスト大手メーカーの一角を占め、長年培ってきた高度なフォトリソグラフィ技術や生産管理をベースに、極端紫外線(EUV)...
ArF用レジストの主な需要地は日本ではない。それでも静岡での生産を貫くのは、ArFレジストの開発・生産と品質保証・管理に高額な設備が欠かせないためだ。... 2016年にはArF用レジストや周辺材料の...
当面は主流であるフッ化アルゴン(ArF)レジストで、世界シェア4割以上を目指す」 ―アナログ技術に付加価値を見いだす戦略を進めていますね。
JSRは22日、次世代半導体製造プロセスであるダブルパターニング向けに、トップコート不要の自己架橋型フッ化アルゴン(ArF)フォトレジストを開発したと発表した。... なお同レジストを...
(藤木信穂) 【業界標準材料に】 開発したフッ化アルゴン(ArF)レジストは波長193ナノメートル(ナノは10億分の1)のArFエキシマ...
【大河内記念生産特賞】▽超々臨界圧石炭火力発電を実現させたステンレスボイラーチューブの開発(住友金属工業) 【大河内記念技術賞】▽世界初有機ELテレビの開発と量産化(占...
【市村産業賞・功績賞】▽「SUS304代替Ni、Moフリー21%クロムステンレス鋼の開発」(JFEスチール)▽「最先端LSI製造用ArFレジスト材料の開発」(NEC...