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炭化ケイ素(SiC)インゴットからウエハーを切り出す「KABRA(カブラ)」の技術や装置もIBで開発された。
炭化ケイ素(SiC)の塊(インゴット)からウエハーを切り出す「KABRA(カブラ)」という工程を備えた2017年発売の装置だ。... KABRAはレーザ...
同社が提唱する「KABRA」システムは、レーザーを用いたSiCインゴット切断方法で、加工時間の短縮や、インゴット当たりの取り枚数の増加を可能とした方法である。
ディスコはSiCの塊(インゴッド)から、高効率かつ高精度にウエハーを切り出す加工技術「KABRA(カブラ)」を開発した。