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従来、細胞や菌などの検体検査では感度の可変や光量の調整により複数回検査していたが、同製品を使えば時間差のない連続計測が可能になり検査効率が高まる。半導体ウエハー検査装置のゴミやキズの錯乱光計測にも応用...

新役員/荏原−執行役員・長岡一宏氏ほか（2015/4/28）

【執行役員精密・電子事業カンパニー技術統括部長】曽部川拓司(そぶかわ・ひろし)氏【横顔】入社以来、磁気浮上真空ポンプをはじめとするコンポーネント製品や電子線式ウエハ...

【横浜】レーザーテックは海外拠点で半導体ウエハー検査装置の販売を強化する。... 新規事業として開発を進めている半導体ウエハー検査装置「WASAVIシリーズ」を海外で積極的に展開していく。... 半導...

日立化成、先端配線板の主力工場をシンガポールに移管（2013/8/9）

日立化成は半導体検査などに使われる先端の配線板の主力製造拠点を日本からシンガポールに移す。... 同配線板は半導体ウエハー検査装置などに使う。 ... 日本はDRAMウエハーの検査装...

危うし日本のお家芸(6)半導体製造装置−先端技術で追随許さず（2012/3/29）

政府がAMATに共同開発の資金を拠出し、開発品をAMATの装置に組み込んだ場合、サムスンが装置を買い取る。... サムスンの受注の後押しもあり、テスター(半導体回路検査装置)はフロムサ...

スミックス、結晶欠陥を15秒で検出するウエハー検査装置開発（2010/12/8）

【厚木】スミックス(相模原市中央区、宇田満社長、042・713・3733)は炭化ケイ素(SiC)ウエハー検査装置「ARCscan(アークスキャン)MEタ...

キヤノンマーケティングジャパン(キヤノンMJ)は24日、イスラエル・キャムテックと国内独占販売契約を締結し、4月1日からウエハー外観検査装置の販売に参入すると発表した。... キャムテ...

半導体装置各社、450ミリメートルの次世代ウエハーに対応（2009/7/10）

ウエハー検査装置大手の日立ハイテクは約3億円を投じ、那珂事業所(茨城県ひたちなか市)の新工場にオークマ製大型マシニングセンターを導入。開発中の検査装置に搭載する450ミリメートル向けの...

レーザーテック、ウエハー検査装置発売−微細な欠陥認識（2008/11/20）

【横浜】レーザーテックは19日、ウエハーの処理工程で発生する表面のムラや、微細な寸法欠陥などを検査する装置「ワサビシリーズMR300=写真」を発売したと発表した。 300ミリウエハーで...

古河電工、半導体検査向け極細チューブの生産能力を倍増（2008/1/22）

古河電気工業は半導体ウエハー検査用のプローブカード(探針基板)などに使う極細ポリイミド(PI)チューブの生産能力を従来の2倍にした。... 内径190マイクロメートル以...